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公告
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前言
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1 总则
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1.0.1为规范太阳能电池生产设备安装工程施工及质量验收,
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1.0.2本规范适用于新建、改建和扩建的太阳能电池工厂生产
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1.0.3太阳能电池生产设备安装工程施工及质量验收除应符合
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2 术语和缩略语
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2.1 术语
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2.1.1太阳能电池solarcell 是指将太阳光能直接
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2.1.2单晶硅太阳能电池monocrystalline
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2.1.3多晶硅太阳能电池polycrystalline
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2.1.4非晶硅太阳能电池amorphous silico
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2.1.5非晶硅薄膜电池amorphous silicon
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2.1.6化学气相沉积chemical vapor dep
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2.1.7低压化学气相沉淀low pressure che
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2.1.8等离子体化学气相沉积plasma chemica
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2.1.9等离子体增强型化学气相沉积plasma enha
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2.1.10聚乙烯醇缩丁醛polyvinyl butyra
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2.1.11载板carrier在太阳能电池的工艺设备中,用
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2.1.12质量流量控制器mass flow conrro
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2.1.13晶体硅太阳能电池生产设备crystalline
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2.1.14二次配管配线hook-up 生产厂房中一次管线
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2.1.15大宗气体bulk gas 对电子工厂中使用的氮
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2.1.16特种气体specialty gas 电子行业生
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2.1.17制绒texturing 在单晶硅片表面通过一定
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2.1.18丝网印刷electrodes printing
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2.2 缩略语
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3 基本规定
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3.0.1太阳能电池生产设备安装之前应制定详细的安全和质量
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3.0.2设备安装应按经批准的技术文件就位,修改有关技术文
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3.0.3设备就位使用的搬运设备和工具应完好、可靠、安全,
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3.0.4生产设备安装工程的作业人员应经相应工种培训。
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3.0.5特殊工种应取得相应的上岗证。
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3.0.6设备安装环境应满足设计文件、设备使用说明书的相关
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3.0.7设备机调试及试运转应在设备安装和二次配管配线安装
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3.0.8太阳能电池的生产宜按照本规范附录A的工艺流程组织
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3.0.9用于检测的计量器具和仪器、设备应检定合格或校准认
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4 安装工程施工
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4.1 安装前设备材料的储存
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4.1.1生产设备宜放置于仓库中储存,储存环境应满足设备存
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4.1.2临时存放在室外的生产设备应做好防潮、防雨、防冻措
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4.1.3有特殊存放要求的生产设备,应按产品说明书的要求进
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4.1.4设备储存应有专人管理、建立岗位责任制。
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4.1.5进场的生产设备应及时登记,建立台账。生产设备应标
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4.1.6现场材料保管应有专人负责。现场材料存放环境应防火
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4.1.7对于易燃、易爆、有毒、有害危险化学品,应按属性分
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4.2 施工准备
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4.2.1施工前,应按本规范附录C的要求制定具体的施工方案
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4.2.2施工前,应制定洁净室管理制度,并应提交监理或建设
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4.2.3进入现场的运输机械应质量可靠、状况良好,特种设备
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4.2.4安装工程施工单位应按质量保证书或产品合格证对材料
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4.2.5进入洁净室的设备、材料应进行清洁处理,外表面不得
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4.2.6施工前厂房应符合下列规定: 1厂房应通水、通电,
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4.2.7设备搬运应规划好搬运路线图,并应标注清楚路障、限
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4.3 设备搬运
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4.3.1设备搬运前应对设备进行检查和确认,检查后应做好设
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4.3.2在室外搬运设备时,道路应平坦、畅通;在整个搬运过
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4.3.3设备搬运方法应根据设备厂家提供的说明和要求选择,
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4.3.4起吊旋转过程中,起重臂、钢丝绳或设备与架空线缆安
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4.3.5起吊有内包装的设备,应符合下列规定: 1起吊使用
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4.3.6用叉车或汽车搬运设备时,全过程应平稳,不得载货急
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4.3.7手动液压车搬运设备时,应符合下列规定: 1应根据
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4.3.8当搬运重大、精密设备时,宜采用平稳、可靠且省力的
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4.3.9对于有恒温恒湿要求的精密设备,应使用气垫搬运法及
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4.3.10对于有防微振要求的设备,宜采用气垫搬运法进行搬
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4.3.11设备从搬入平台经过搬入口、气闸室至洁净室(区)
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4.3.12当在活动地板上吊装设备时,宜采用龙门架、手动葫
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4.3.13洁净室室内外设备搬运人员不应交叉作业,在洁净室
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4.4 设备开箱
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4.4.1设备开箱时,建设单位、设备供应商、监理单位、施工
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4.4.2设备开箱前应检查包装箱外观是否完好,有无破损、浸
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4.4.3有防震贴、防倾贴等运输智能标贴的包装箱,开箱前标
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4.4.4设备箱体不得倒置;有防震、防倾斜要求的,应采取避
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4.4.5设备开箱宜在卸货平台进行,不得在运输工具上开箱。
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4.4.6设备开箱宜按照从顶板开始,再拆除四面箱板,保留设
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4.4.7设备零部件开箱宜按照先拆除箱盖,进行零部件清点,
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4.4.8设备零部件堆放应按照安装先后顺序,先安装的放在外
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4.4.9设备开箱应采用寺用开箱工具。
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4.4.10设备的外壳不应有碰伤、变形、机械损坏、油漆剥落
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4.4.11设备开箱检验应填写验收单,做好记录,并办理验收
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4.4.12设备包装材料应做好回收处理;进口设备的木质包装
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4.5 设备安装
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4.5.1设备安装前应先对设备进行定位放线,并应符合下列规
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4.5.2设备定位的基准面、线或点对安装基准线的平面位置允
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4.5.3对于设备需独立基础的,独立基础的材料为金属框架时
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4.5.4安装独立基础时,应符合下列规定: 1拆除基础范围
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4.5.5设备找正、调平的水平度或垂直度应符合设备技术文件
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4.5.6设备的安装、组装应符合下列规定: 1设备安装应牢
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4.5.7在独立基础上或自流坪地面上安装需要固定的设备时,
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4.5.8在基础或地板上开孔时,应用吸尘设备吸尽孔内的尘埃。
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4.5.9当设备需跨越壁板安装时,应符合下列规定: 1应根
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4.5.10设备的接地系统安装应牢固、可靠。
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4.5.11设备支装时,应保护设备本体自带仪表、接口短管,
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4.6 二次配管配线
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4.6.1二次配管配线应包括下列管线安装: 1各种给水、排
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4.6.2设备二次配管配线作业应在设备安装完成后进行,并应
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4.6.3二次配管配线的材料宜与一次配管配线的材质一致,并
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4.6.4二次配管配线施工时,应根据现场实际情况进行空间整
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4.6.5当在活动地板上开孔时,应符合现行国家标准《微电子
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4.6.6洁净室内的二次配管配线安装需开洞时,不得影响承重
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4.6.7二次配管应采用专用设备对管道进行平口、切割、焊接
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4.6.8洁净室内不宜进行电焊作业,特殊情况应采取有效的防
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4.6.9不锈钢管焊接质量应符合下列规定: 1两管端应垂直
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4.6.10PVC管粘接应符合下列规定: 1应选用管材生产
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4.6.11 高 纯介质二次配管时,管道预制作业应在专门防
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4.6.12二次配管支、吊架安装应牢固可靠,并应符合下列规
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4.6.13二次配管标识应与一次配管配线标识一致。
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4.6.14二次配管进行压力试验时,应符合下列规定: 1试
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4.6.15二次配管安装完成后,宜做泄漏试验。
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4.6.16二次配管试验完成后,应填写设备配管检验批质量验
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4.6.17当设计文件规定以氦气进行泄漏性试验时,应符合现
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4.6.18二次配管压力试验完成后,应脱开设备进行吹扫。吹
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5 设备试运行
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5.1 设备试运行前的准备
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5.1.1设备试运行前应符合下列规定: 1设备应安装完毕,
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5.1.2设备安全性测试应符合下列规定: 1当绝缘电阻测试
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5.1.3对于有噪声限制的设备,应进行噪声测试。噪声测试应
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5.2 设备试运行
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5.2.1外接电源及接地应按设备电路图接好,检查确认无误后
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5.2.2在开机状态下,用钳形电流表测量设备电压、电流和功
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5.2.3设备调试应按产品说明书或技术文件中规定的调试项目
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5.2.4设备调试合格后,应连续通电无故障工作24h,并应
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5.2.5设备连续工作前后应进行主要性能指标测试,测试结果
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6 工程验收
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6.1 一般规定
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6.1.1太阳能电池生产设备二次配管配线工程完成后,应对各
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6.1.2设备安装施工单位应向建设单位提交工程质量验收记录
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6.2 验收内容
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6.2.1太阳能电池生产设备安装工程交接验收应由建设单位组
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6.2.2验收应在设备找正、调平后进行设备安装交接验收,设
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6.2.3工程验收时,太阳能电池生产设备安装工程施工单位提
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6.2.4太阳能电池生产设备安装工程质量主要控制项目应符合
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6.2.5太阳能电池生产设备安装工程质量应符合下列规定:
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6.2.6验收组应对工程质量进行评价,提出验收结论。参加验
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6.3 验收程序
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6.3.1太阳能电池生产设备安装工程竣工验收应由建设单位组
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6.3.2设备安装工程竣工验收时设备调试单位应提供每台设备
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6.3.3验收组应对太阳能电池生产设备安装工程的所有工程内
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6.3.4验收组应对工程质量进行评价,提出验收结论和验收报
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6.3.5太阳能电池生产设备安装工程验收合格,可进行试生产。
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6.4 验收不合格的处置
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6.4.1当太阳能电池生产设备安装工程、设备二次配管配线安
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6.4.2经过返修仍不能满足安全使用和性能要求的分项工程,
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附录A 硅基太阳能电池生产基本工艺流程
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A.0.1晶硅太阳能电池生产可按下列工艺流程设置。
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A.0.2非晶硅薄膜电池生产可按下列工艺流程设置。
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附录B 典型太阳能电池生产设备单机试运转及验收要求
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B.1 在线式表面制绒机
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B.1.1设备运转前应检查下列项目,并应在符合要求后进行单
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B.1.2验收项目应符合下列规定: 1设备的温度传感器、压
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B.2 槽式扩散前清洗设备
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B.2.1试运转前应检查下列项目,并应在符合要求后进行单机
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B.2.2验收项目应符合下列规定: 1各工艺槽注药液时间、
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B.3 预热炉
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B.3.1试运转前检查应符合下列规定: 1应检查烘烤物内是
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B.3.2验收项目应符合下列规定: 1环境洁净度等级应为9
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B.4 扩散炉设备
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B.4.1试运转前应检查下列项目,并应在符合要求后进行单机
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B.4.2验收项目应符合下列规定: 1炉箱超温报警应正常;
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B.5 MCP刻边设备
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B.5.1试运转前应检查下列项目,并应在符合要求后进行单机
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B.5.2验收项目应符合下列规定: 1反应腔工艺压力报警应
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B.6 湿法刻蚀机
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B.6.1设备运转前应检查下列项目,并应在符合要求后进行单
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B.6.2验收项目应符合下列规定: 1设备的温度传感器、压
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B.7 槽式去PSG清洗设备
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B.7.1试运转前应检查下列项目,并应在符合要求后进行单机
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B.7.2验收项目应符合下列规定: 1各工艺槽注药液时间、
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B.8 平板式PECVD设备
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B.8.1试运转前应检查下列项目,并应在符合以下要求后进行
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B.8.2验收项目应符合下列规定: 1接通电源主机应显示电
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B.9 管式PECVD设备
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B.9.1试运转前应检查下列项目,并应在符合要求后进行单机
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B.9.2验收项目应符合下列规定: 1炉箱超温报警应正常;
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B.10 进口全自动丝网印刷设备
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B.10.1设备运转前应检查下列项目,并应在符合要求后进行
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B.10.2验收项目应符合下列规定: 1设备的温度传感器、
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B.11 快速烧结炉
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B.11.1设备运转前应检查下列项目,并应在符合要求后进行
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B.11.2验收项目应符合下列规定: 1设备的温度传感器、
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B.12 CDS供液设备
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B.12.1试运转前应检查下列项目,并应在符合要求后进行单
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B.12.2验收项目应符合下列规定: 1设备的水压力、气体
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附录C 太阳能电池生产主要设备的安装和验收要求
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附录D 验收表格
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D.0.1太阳能电池生产设备开箱验收检查记录应符合表D.0
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D.0.2太阳能电池生产设备安装检验批质量验收记录应符合表
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D.0.3太阳能电池生产设备配管配线检验批质量验收记录应符
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D.0.4太阳能电池生产设备二次配管压力试验、冲(吹)洗记
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D.0.5太阳能电池生产设备调试记录应符合表D.0.5的规
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D.0.6太阳能电池生产设备试运行记录应符合表D.0.6的
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D.0.7太阳能电池生产设备安装工程交接(竣工)验收记录应
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D.0.8太阳能电池生产设备安装(配管配线)分项工程质量验
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D.0.9太阳能电池生产设备安装工程竣工验收记录应符合表D
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