1 总 则

• 1.0.1 为在电子工业洁净厂房设计中，做到技术先进、经济

• 1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工业洁净厂房

• 1.0.3 电子工业洁净厂房的设计应满足需洁净环境的电子产

• 1.0.4 电子工业洁净厂房的设计应为施工安装、调试检测和

• 1.0.5 电子工业洁净厂房设计除应执行本规范外，尚应符合

2 术 语

• 2.0.1 洁净室 clean room 空气悬浮粒子浓度

• 2.0.2 洁净区 clean zone 空气悬浮粒子浓度

• 2.0.3 人员净化用室 room for cleanin

• 2.0.4 物料净化用室 room for cleanin

• 2.0.5 粒径 partical size 由给定的粒子

• 2.0.6 悬浮粒子 airborne particles

• 2.0.7 含尘浓度 particle concentra

• 2.0.8 洁净度 cleanliness 以单位体积空气

• 2.0.9 空态 as-built 设施已经建成，所有动力

• 2.0.10 静态 at-rest 设施已经建成，生产设备

• 2.0.11 动态 operational 设施以规定的状

• 2.0.12 气流流型 air pattern 室内空气的

• 2.0.13 单向流 unidirectional air

• 2.0.14 非单向流 non-unidirectiona

• 2.0.15 混合流 mixed airflow 单向流和

• 2.0.16 洁净工作区 clean working ar

• 2.0.17 空气吹淋室 airshower 利用高速洁净

• 2.0.18 气闸室 airlock 设置在洁净室出入口，

• 2.0.19 传递窗 passbox 在洁净室隔墙上设置的

• 2.0.20 洁净工作服 clean working ga

• 2.0.21 高效空气过滤器 (HEPA)high eff

• 2.0.22 超高效空气过滤器 (ULPA)ultra l

• 2.0.23 微环境 minienvironment 将产

• 2.0.24 风机过滤器机组 fan filter uni

• 2.0.25 自净时间 cleanliness recov

• 2.0.26 技术夹层 technical mezzani

• 2.0.27 技术夹道 technical tunnel

• 2.0.28 技术竖井 technical shaft 洁

• 2.0.29 专用消防口 fire-firing acce

• 2.0.30 纯水 pure water 杂质含量很少的水

• 2.0.31 常用气体 bulk gas 电子产品生产过程

• 2.0.32 特种气体 special gas 电子产品生

• 2.0.33 化学品 chemical 指电子产品生产过程

• 2.0.34 防静电环境 ESD controlled e

• 2.0.35 表面电阻 surface resistanc

3 电子产品生产环境设计要求

• 3.1 一般规定

  • 3.1.1 电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺的

  • 3.1.2 生产环境设计应根据产品品种及生产工艺要求，对电

  • 3.1.3 洁净室(区)内产品生产过程所使用的工具、器具和

  • 3.1.4 洁净室(区)的空气洁净度等性能测试和认证应符合

• 3.2 生产环境设计要求

  • 3.2.1 洁净室(区)的空气洁净度等级应按现行国家标准《

  • 3.2.2 各种电子产品生产环境的空气洁净度等级应根据生产

  • 3.2.3 洁净室(区)的温度和相对湿度应按表3.2 3确

  • 3.2.4 各类电子产品生产所需纯水水质、气体及化学品的纯

  • 3.2.5 单向流和混合流洁净室(区)的噪声级(空态)不应

  • 3.2.6 洁净室(区)的微振动控制设计应满足精密设备、仪

4 总体设计

• 4.1 位置选择和总平面布置

  • 4.1.1 洁净厂房位置的选择，应根据下列要求经技术经济比

  • 4.1.2 洁净厂房净化空调系统的新风口与城市交通干道之间

  • 4.1.3 对于有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际

  • 4.1.4 厂区总平面布置时，应按洁净生产、非洁净生产、辅

  • 4.1.5 洁净厂房周围及其周边的道路面层，应选用整体性能

  • 4.1.6 洁净厂房周围应进行绿化，但不宜种植对生产环境和

  • 4.1.7 洁净厂房宜设置环行消防车道，若有困难时可沿厂房

• 4.2 洁净室型式

  • 4.2.1 洁净室可根据电子产品生产工艺特点、空气洁净度等

  • 4.2.2 电子工业洁净厂房垂直单向流洁净室的空间，应包括

  • 4.2.3 洁净室型式的选择应综合生产工艺要求、节约能源、

• 4.3 洁净室布置和综合协调

  • 4.3.1 洁净厂房的平面布置应合理安排洁净生产区、辅助区

  • 4.3.2 洁净室(区)的空间布置应满足下列要求： 1 生

  • 4.3.3 洁净室(区)内应少分隔，但下列情况应予分隔：

  • 4.3.4 洁净厂房的布置应综合协调生产操作、设备安装和维

5 工艺设计

• 5.1 一般规定

  • 5.1.1 洁净厂房的工艺设计、工艺布局应为电子产品发展以

  • 5.1.2 洁净厂房工艺设计应确定各种生产条件，在满足电子

  • 5.1.3 洁净厂房工艺设计应根据产品生产工艺和空气洁净度

• 5.2 工艺布局

  • 5.2.1 洁净厂房的工艺布置应按产品生产工艺流程、洁净室

  • 5.2.2 工艺布局应避免人流和物流之间的混杂和交叉，宜分

  • 5.2.3 在满足生产工艺和微振控制、噪声控制等要求的前提

  • 5.2.4 洁净室(区)内要求空气洁净度严格的工序(设备)

  • 5.2.5 工艺布置时，应根据大型生产工艺设备的运输、安装

  • 5.2.6 洁净厂房内不同空气洁净度等级的洁净室(区)之间

• 5.3 人员净化

  • 5.3.1 人员净化用室和设施应根据洁净室的规模、空气洁净

  • 5.3.2 人员净化用室，应根据换鞋(净鞋)、更外衣、更洁

  • 5.3.3 洁净厂房内人员净化用室和生活用室的建筑面积，应

  • 5.3.4 人员净化用室和生活用房的设置，应符合下列规定：

  • 5.3.5 洁净厂房空气吹淋室的设计，应符合下列要求： 1

  • 5.3.6 人员净化用室和生活用室的空气洁净度等级，宜由外

• 5.4 物料净化

  • 5.4.1 洁净室(区)内的设备和物料出入口，应独立设置，

  • 5.4.2 物料净化用室与洁净室(区)之间应设置气闸室或传

• 5.5 设备及工器具

  • 5.5.1 洁净室(区)内应采用具有防尘、防污染的生产设备

  • 5.5.2 当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室(区

  • 5.5.3 洁净室(区)内的设备宜选用低噪声产品。当所选设

  • 5.5.4 洁净室(区)应设置对电子产品生产过程所使用的工

  • 5.5.5 洁净室(区)内，电子产品生产过程中各种零、部件

  • 5.5.6 洁净室(区)内设置真空泵时，应符合下列规定：

6 洁净建筑设计

• 6.1 一般规定

  • 6.1.1 洁净厂房的建筑平面和空间布局，应根据电子产品发

  • 6.1.2 洁净厂房的主体结构宜采用大空间及大跨度柱网，不

  • 6.1.3 洁净厂房的立面设计应简洁、明快，并应适应洁净室

  • 6.1.4 洁净厂房主体结构的耐久性应与电子产品生产线设备

  • 6.1.5 设有上技术夹层、下技术夹层的洁净厂房的建筑平面

  • 6.1.6 设有技术夹层、技术夹道的洁净厂房，技术夹层、技

  • 6.1.7 对兼有一般生产区和洁净室(区)的综合性厂房，厂

  • 6.1.8 洁净厂房内的通道宽度应满足人员操作、物料运输、

• 6.2 防火和疏散

  • 6.2.1 洁净厂房的耐火等级不应低于二级。

  • 6.2.2 洁净厂房内生产工作间的火灾危险性，应符合现行国

  • 6.2.3 洁净厂房内防火分区的划分，应符合现行国家标准《

  • 6.2.4 洁净室的上技术夹层、下技术夹层和洁净生产层，当

  • 6.2.5 洁净室的顶棚和墙板、技术竖井井壁的材质选择，应

  • 6.2.6 在综合性厂房的一个防火分区内，洁净生产区域与一

  • 6.2.7 洁净厂房的安全出口的设置，应符合下列规定： 1

  • 6.2.8 洁净厂房的洁净区各层外墙应设置专用消防口，并应

  • 6.2.9 洁净厂房内有爆炸危险的房间应靠建筑外墙布置，且

• 6.3 室内装修

  • 6.3.1 洁净厂房的建筑围护结构和室内装修，应选用气密性

  • 6.3.2 洁净室内墙壁和顶棚的装修应符合下列要求； 1

  • 6.3.3 洁净室楼地面设计应符合下列要求 1 应满足电子

  • 6.3.4 洁净厂房技术夹层的墙壁和顶栅应满足使用功能要求

  • 6.3.5 当洁净厂房设置外窗时，应采用双层固定窗，并应有

  • 6.3.6 洁净室(区)门窗、墙壁、顶棚、地面、楼面的设计

  • 6.3.7 用于电子产品生产的洁净室(区)的墙板和顶棚，宜

7 空气净化和空调通风设计

• 7.1 一般规定

  • 7.1.1 洁净厂房内各洁净室(区)的空气洁净度等级，应根

  • 7.1.2 气流流型应根据各洁净室(区)空气洁净度等级和电

  • 7.1.3 有下列情况之一者，净化空调系统宜分开设置： 1

  • 7.1.4 洁净室(区)内的温度、相对湿度应符合本规范第3

  • 7.1.5 洁净室(区)内的新鲜空气量应符合现行国家标准《

  • 7.1.6 洁净室(区)与周围的空间应保持一定的静压差，静

  • 7.1.7 洁净室(区)维持静压差值所需的压差风量，宜采用

  • 7.1.8 送风、回风和排风系统的启闭联锁、控制要求，应符

  • 7.1.9 非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班

  • 7.1.10 洁净室(区)的清扫方式应根据洁净厂房的规模、

• 7.2 气流流型和送风量

  • 7.2.1 气流流型的设计，应符合下列要求： 1 气流流型

  • 7.2.2 洁净室的送风量，应符合现行国家标准《洁净厂房设

  • 7.2.3 洁净室(区)所需的满足空气洁净度等级的洁净送风

• 7.3 净化空调系统

  • 7.3.1 洁净厂房中的净化空调系统可分为集中式净化空调系

  • 7.3.2 洁净厂房的洁净室(区)送风方式可分为集中送风、

  • 7.3.3 净化空调系统新风的室外吸入口位置，应远离本建筑

  • 7.3.4 多套净化空调系统同时运行或较大型电子工业洁净厂

  • 7.3.5 净化空调系统设计应合理利用回风，但下列情况不得

  • 7.3.6 净化空调系统需设置电加热时，应选用不产尘的电加

  • 7.3.7 净化空调系统的电加湿器应采取安全保护措施。

  • 7.3.8 根据气象条件，存在冷冻可能的地区，新风系统应采

• 7.4 空气净化设备

  • 7.4.1 空气过滤器的选用和布置应符合下列要求： 1 空

  • 7.4.2 风机过滤器机组的设置应符合下列要求： 1 应根

  • 7.4.3 层流罩的设置应符合下列要求： 1 洁净室(区)

  • 7.4.4 微环境装置的设置应符合下列要求： 1 当生产工

  • 7.4.5 干表冷器的设置应符合下列要求： 1 安装位置、

  • 7.4.6 净化空调系统空气处理机组的选用和布置，应符合下

• 7.5 采暖、通风

  • 7.5.1 空气洁净度等级严于8级的洁净室(区)不应采用散

  • 7.5.2 洁净厂房内产生粉尘和有害气体的工艺设备和辅助设

  • 7.5.3 洁净室(区)的排风系统设计，应符合下列要求：

  • 7.5.4 对排风系统中含有毒性、爆炸危险性物质的排气管路

  • 7.5.5 净鞋室、更外衣室、盥洗室和厕所等生产辅助房间，

  • 7.5.6 洁净室(区)事故排风系统的设计，应符合下列规定

• 7.6 排 烟

  • 7.6.1 洁净厂房中的疏散走廊，应设置机械排烟设施。

  • 7.6.2 洁净厂房排烟设施的设置应符合现行国家标准《建筑

  • 7.6.3 机械排烟系统宜与通风、净化空调系统分开设置；当

  • 7.6.4 机械排烟系统的风量、排烟口位置、风机的设置，应

• 7.7 风管、附件

  • 7.7.1 净化空调系统的新风吸入管应设置防倒灌装置；送、

  • 7.7.2 净化空调系统风管的防火阀的设置，应符合现行国家

  • 7.7.3 净化空调系统的风管、配件、过滤器以及密封材料等

  • 7.7.4 洁净室(区)内排风系统的风管、阀门、附件的制作

  • 7.7.5 净化空调系统的送、回风总管上，应采取消声措施，

  • 7.7.6 在集中设置的空气过滤器的前后，应设置测压孔或指

  • 7.7.7 风管附件及辅助材料的防火性能，应符合下列规定：

8 给水排水设计

• 8.1 一般规定

  • 8.1.1 洁净厂房的给水排水干管应敷设在技术夹层或技术夹

  • 8.1.2 穿过洁净室的水管道，应根据管内水温和所在房间的

  • 8.1.3 给水排水管道穿过洁净室(区)墙壁、楼板和顶棚时

• 8.2 给 水

  • 8.2.1 洁净厂房内的给水系统应根据各种用途(包括工艺冷

  • 8.2.2 当设有危险化学品储存和分配室时，应根据化学品的

  • 8.2.3 给水管道的管材及附件的选择，应符合下列要求：

• 8.3 排 水

  • 8.3.1 生产、生活排水系统应分别设置。生产排水系统应根

  • 8.3.2 洁净室(区)内与电子产品生产设备相连接的重力排

  • 8.3.3 洁净室(区)内地漏等排水设施的设置，应符合现行

  • 8.3.4 洁净厂房内宜采用不易积存污物、易于清洗的卫生设

• 8.4 雨 水

  • 8.4.1 屋面雨水排水系统应确保能迅速、及时地将屋面雨水

  • 8.4.2 屋面雨水排水管道的排水设计重现期不宜小于10年。

  • 8.4.3 屋面雨水排水工程应设置溢流口、溢流堰、溢流管系

  • 8.4.4 雨水斗的位置应确保雨水斗连接管和悬吊管不穿过洁

• 8.5 消防给水和灭火设备

  • 8.5.1 洁净厂房必须设置消防给水系统。消防给水系统的设

  • 8.5.2 洁净厂房消火栓的设置应符合下列规定 1 洁净室

  • 8.5.3 洁净室(区)设置的固定灭火设施，应符合下列规定

  • 8.5.4 洁净厂房内各场所应配置灭火器，并应符合现行国家

9 纯水供应

• 9.1 一般规定

  • 9.1.1 电子产品生产用纯水系统的选择，应根据原水水质和

  • 9.1.2 纯水的输送干管应敷设在技术夹层或技术夹道内；洁

  • 9.1.3 穿越洁净室(区)墙壁、楼板、顶棚的纯水管道应设

  • 9.1.4 洁净室(区)内纯水管道的保温材料，不得产生污染

• 9.2 纯水系统

  • 9.2.1 纯水系统的设备配置除应满足所需水量和水质的要求

  • 9.2.2 纯水的制备、储存和输送设备，应符合电子产品生产

  • 9.2.3 纯水系统应采用循环供水方式，宜采用单管式循环供

  • 9.2.4 纯水系统中与纯水直接接触的设备表面应光洁、平整

  • 9.2.5 用于纯水系统的水质检测设备、量具、仪表，其连接

  • 9.2.6 纯水精处理或终端处理装置宜靠近用水生产设备设置。

• 9.3 管材、阀门和附件

  • 9.3.1 纯水系统管道材质的选用，应符合下列要求： 1

  • 9.3.2 纯水管道的阀门和附件的选用应符合下列规定： 1

10 气体供应

• 10.1 一般规定

  • 10.1.1 洁净厂房内应根据生产的需求使用各种不同类型的

  • 10.1.2 常用气体的供气方式和供气系统，应根据气体用量

  • 10.1.3 洁净厂房常用气体、特种气体的制备、储存、分配

  • 10.1.4 洁净厂房内的气体管道的干管，应敷设在技术夹层

  • 10.1.5 洁净室(区)内的可燃气体管道和有毒气体管道应

  • 10.1.6 可燃气体管道和有毒气体管道不得穿过不使用此类

  • 10.1.7 高纯气体管道设计应符合下列规定： 1 管径应

  • 10.1.8 洁净厂房的可燃气体管道系统应设置下列安全设施

  • 10.1.9 气体过滤器应根据产品生产工艺对气体洁净度的要

• 10.2 常用气体系统

  • 10.2.1 常用气体供应系统宜在工厂内或邻近处设置制气装

  • 10.2.2 氢气、氧气管道的终端或最高点应设置放散管。氢

  • 10.2.3 气体纯化装置的设置，应符合下列要求： 1 气

  • 10.2.4 进入洁净厂房的气体管道控制阀门、气体过滤器、

  • 10.2.5 气体纯化间(站)或气体入口室内，设有氢气等可

  • 10.2.6 洁净厂房内的氧气管道等，应采取下列安全技术措

  • 10.2.7 各种常用气体的气瓶库应集中设置在洁净厂房外。

  • 10.2.8 气体管道和阀门应根据产品生产工艺要求选择，宜

  • 10.2.9 气体管道连接，应符合下列规定： 1 管道连接

• 10.3 干燥压缩空气系统

  • 10.3.1 洁净厂房内的干燥压缩空气系统应根据各类产品生

  • 10.3.2 干燥压缩空气管道内输送露点低于-76℃时，应

  • 10.3.3 管道连接应符合下列规定： 1 宜采用焊接，不

• 10.4 特种气体系统

  • 10.4.1 特种气体应采用外购钢瓶气体、液态气体供应，在

  • 10.4.2 洁净厂房内特种气体的储存分配间应采用耐火极限

  • 10.4.3 洁净室(区)内可燃或有毒的特种气体分配系统的

  • 10.4.4 特种气体分配系统应设置吹扫盘，并应符合下列规

  • 10.4.5 硅烷或硅烷混合物的气瓶应存放在洁净厂房建筑外

11 化学品供应

• 11.1 一般规定

  • 11.1.1 洁净厂房内化学品的储存、输送方式，应根据产品

  • 11.1.2 洁净厂房内使用的各类化学品应按照各自的物理化

  • 11.1.3 在洁净室(区)内使用危险化学品的生产设备或空

• 11.2 化学品储存、输送

  • 11.2.1 洁净厂房内各种化学品储存间(区)的设置，应符

  • 11.2.2 洁净厂房内采用容器传送危险化学品时，应符合下

  • 11.2.3 当采用压力罐输送危险化学品时，应符合下列规定

  • 11.2.4 危险化学品的储存、分配间应设置排水系统，并应

  • 11.2.5 液态危险化学品的储存、分配间，应设置溢出保护

• 11.3 管材、阀门

  • 11.3.1 化学品供应系统管道材质的选用，应按所输送化学

  • 11.3.2 输送腐蚀性化学品的管道，可直接采用非金属管材

  • 11.3.3 化学品输送管路系统，对多台生产设备供应化学品

  • 11.3.4 输送有机溶剂的管道材质，宜采用低碳不锈钢管；

  • 11.3.5 用于化学品管路的阀门材质应与管道材质一致。

12 电气设计

• 12.1 配 电

  • 12.1.1 洁净厂房的用电负荷等级和供电要求，应根据电子

  • 12.1.2 洁净厂房低压配电电压等级应符合生产工艺设备用

  • 12.1.3 电子产品生产用主要工艺设备，应由专用变压器或

  • 12.1.4 洁净厂房的净化空调系统(含制冷机)，应由变电

  • 12.1.5 洁净厂房的电源进线(不包括消防电源进线)应设

  • 12.1.6 洁净室(区)内的配电设备，应选择不易积尘、便

  • 12.1.7 洁净厂房的电气管线宜敷设在技术夹层或技术夹道

  • 12.1.8 洁净厂房内，可燃气体或液体的储存、分配间的电

• 12.2 照 明

  • 12.2.1 洁净室(区)的主要生产用房间一般照明的照度值

  • 12.2.2 对照度有特殊要求的电子产品生产部位应设置局部

  • 12.2.3 洁净厂房备用照明的设置应符合下列规定： 1

  • 12.2.4 洁净厂房内应设置供人员疏散用的应急照明，其照

  • 12.2.5 洁净室(区)内照明光源，宜采用高效荧光灯。对

  • 12.2.6 洁净室(区)内一般照明灯具的选择与布置，应符

• 12.3 通信与安全保护装置

  • 12.3.1 洁净厂房内应设置通信设施，通信设施的设置应符

  • 12.3.2 洁净厂房应设置火灾自动报警系统，其防护等级应

  • 12.3.3 洁净厂房的消防控制室不应设在洁净室(区)内。

  • 12.3.4 洁净厂房内火灾探测器的设置应符合下列规定.

  • 12.3.5 洁净厂房应设置火灾自动报警及消防联动控制。控

  • 12.3.6 洁净厂房内下列场所应设置气体泄漏报警装置：

  • 12.3.7 洁净厂房内气体报警装置的联动控制，应符合下列

  • 12.3.8 洁净厂房内易燃、易爆、有毒气体泄漏报警值应为

  • 12.3.9 洁净厂房设置的事故应急广播系统应符合现行国家

  • 12.3.10 洁净厂房内的安全保护系统应设置应急电源。

  • 12.3.11 洁净室(区)火灾报警、气体泄漏报警系统的控

  • 12.3.12 洁净厂房内的各类安全保护系统均应可靠接地，

• 12.4 自动控制

  • 12.4.1 洁净厂房的自动控制系统宜采用集散式网络结构，

  • 12.4.2 洁净厂房应对净化空调、供热、供冷、纯水和气体

  • 12.4.3 洁净室(区)内外的压差监测，宜采用压差变送器

  • 12.4.4 净化空调系统采用电加热器时，电加热器与风机应

  • 12.4.5 在满足生产工艺要求的前提下，宜对风机、水泵等

• 12.5 接 地

  • 12.5.1 功能性接地、保护性接地、电磁兼容性接地、建筑

  • 12.5.2 当电子设备的功能接地要求分开设置时，应设有防

  • 12.5.3 洁净厂房防雷接地设计应符合现行国家标准《建筑

13 防静电与接地设计

• 13. 1 一般规定

  • 13.1.1 洁净厂房应根据生产工艺要求设置防静电环境。防

  • 13.1.2 防静电环境设计应按电子产品或生产工序(设备)

• 13.2 防静电措施

  • 13.2.1 洁净厂房防静电环境中，防静电地面的面层结构和

  • 13.2.2 洁净厂房防静电环境的吊顶、墙面和柱面的装饰设

  • 13.2.3 洁净厂房防静电环境的门窗设计，应符合下列要求

  • 13.2.4 洁净厂房防静电环境的装修设计应符合下列要求：

  • 13.2.5 洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管

  • 13.2.6 洁净厂房防静电环境的净化空调系统、各种配管使

  • 13.2.7 洁净厂房防静电环境中，应根据生产工艺的需要设

• 13.3 防静电接地

  • 13.3.1 洁净厂房内金属物体包括洁净室(区)的墙面、门

  • 13.3.2 静电接地的连接线应有足够的机械强度和化学稳定

  • 13.3.3 与人体接触的静电接地应串接限流电阻，限流电阻

  • 13.3.4 对电子产品生产过程中产生静电危害的设备、流动

14 噪声控制

• 14.1 一般规定

  • 14.1.1 洁净厂房的噪声控制，应满足电子产品生产的要求

  • 14.1.2 洁净厂房的噪声控制设计应符合现行国家标准《工

  • 14.1.3 洁净室(区)的噪声控制设计的噪声级(空态)应

  • 14.1.4 洁净室(区)的噪声频谱限制值，应采用倍频程声

• 14.2 噪声控制设计

  • 14.2.1 洁净厂房的平面、空间布置时，应根据噪声控制要

  • 14.2.2 洁净室(区)内的各种设备均应选用低噪声产品。

  • 14.2.3 净化空调系统、公用动力设备和输送管道等洁净厂

  • 14.2.4 洁净室(区)内的各类排风系统(不包括事故排风

15 微振控制

• 15.1 一般规定

  • 15.1.1 洁净厂房的微振控制设施的设计应分阶段进行，应

  • 15.1.2 设计有微振控制要求的洁净厂房时，应符合下列规

• 15.2 容许振动值

  • 15.2.1 微振动控制设计应根据精密仪器、设备的特性，采

  • 15.2.2 精密设备、仪器的容许振动值物理量的表述，应采

  • 15.2.3 精密仪器、设备的容许振动值，应由制造商提供。

• 15.3 微振动控制设计

  • 15.3.1 洁净厂房的微振动控制设计，应按下列阶段进行微

  • 15.3.2 有微振动控制要求的洁净室(区)，其建筑结构的

  • 15.3.3 有强烈振动的设备和管道，宜采取主动隔振措施，

  • 15.3.4 洁净室内精密设备、仪器的被动隔振措施的设计，

附录A 各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求

附录B 电子产品生产间／工序的火灾危险性分类举例

附录C 精密仪器、设备的容许振动值举例

附录D 洁净室(区)性能测试和认证

• D.1 通 则

  • D.1.1 洁净室(区)应定期进行性能测试。以认证洁净室(

  • D.1.2 洁净室(区)性能测试认证工作，应由专门检测认证

  • D.1.3 测试和认证工作之前，系统应达到稳定运行。测试仪

  • D.1.4 洁净室(区)的占用状态应有空态、静态、动态，其

• D.2 洁净室(区)性能测试要求

  • D.2.1 确认洁净室(区)符合本规范要求，应进行下列基本

  • D.2.2 空气洁净度等级、静压差、风速或风量的认证测试的

  • D.2.3 电子工业洁净室(区)的认证测试，除空气洁净度等

• D.3 洁净室测试方法

  • D.3.1 风量或风速测试，应符合下列规定： 1 对于单向

  • D.3.2 静压差测试，应符合下列规定： 1 静压差的测定

  • D.3.3 已安装的空气过滤器泄漏测试，应符合下列规定：

  • D.3.4 洁净度的检测，应符合下列规定： 1 应使用采样

  • D.3.5 气流流型的检测，应符合下列规定： 1 气流流型

  • D.3.6 温度、相对湿度的检测，应符合下列规定： 1 温

  • D.3.7 噪声检测，应符合下列规定： 1 洁净室(区)内

  • D.3.8 照度测试，应符合下列规定： 1 洁净室(区)内

  • D.3.9 微振检测，应符合下列规定： 1 洁净室(区)内

  • D.3.10 自净时间检测，应符合下列规定： 1 自净时间

  • D.3.11 密闭性检测，应符合下列规定： 1 密闭性检测

• D.4 认 证

  • D.4.1 洁净厂房性能测试认证前，应由业主与认证单位签订

  • D.4.2 按协议书规定及本附录第D.2节的要求，以及本附

  • D.4.3 每次性能测试或再认证测试应作记录，并提交性能合

  • D.4.4 测试机构应提交洁净室检验证书、再检验证书。

• D.5 记 录

  • D.5.1 记录保存应符合质量控制程序的要求。

  • D.5.2 应按常规或定期的测试方法和仪表检测，将初始观察