• 1 总则

    • 1.0.1 为了使洁净厂房设计符合节约能源、劳动卫生和环境

    • 1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建洁净厂房的设计。

    • 1.0.3 洁净厂房设计应是施工安装、维护管理、检修测试和

    • 1.0.4 洁净厂房设计除应符合本规范外,尚应符合国家现行

  • 2 术语

    • 2.0.1 洁净室 clean room     空气悬浮

    • 2.0.2 洁净区 clean zone     空气悬浮

    • 2.0.3 移动式洁净小室 mobile clean bo

    • 2.0.4 人身净化用室 room for cleanin

    • 2.0.5 物料净化用室 room for cleanin

    • 2.0.6 粒径 particle size     给定

    • 2.0.7 悬浮粒子 airborne particle

    • 2.0.8 超微粒子 ultrafine particle

    • 2.0.9 微粒子 microparticle     具

    • 2.0.10 粒径分布 particle size dis

    • 2.0.11 含尘浓度 particle concentr

    • 2.0.12 洁净度 cleanliness     以单

    • 2.0.13 气流流型 air flow pattern

    • 2.0.14 单向流 unidirectional air

    • 2.0.15 垂直单向流 vertical unidire

    • 2.0.16 水平单向流 horizontal unidi

    • 2.0.17 非单向流 non-unidirectiona

    • 2.0.18 混合流 mixed airflow     

    • 2.0.19 洁净工作区 clean working ar

    • 2.0.20 空气吹淋室 air shower     利

    • 2.0.21 气闸室 air lock     设置在洁净

    • 2.0.22 传递窗 pass box     在洁净室隔

    • 2.0.23 洁净工作台 clean bench     

    • 2.0.24 洁净工作服 clean working ga

    • 2.0.25 空态 as-built     设施已经建成

    • 2.0.26 静态 at-rest     设施已经建成,

    • 2.0.27 动态 operational     设施以

    • 2.0.28 已装过滤器检漏 installed filt

    • 2.0.29 高效空气过滤器 high efficienc

    • 2.0.30 超高效空气过滤器 ultra low pen

    • 2.0.31 纯水 purity water     对电

    • 2.0.32 防静电环境 antistatic envir

    • 2.0.33 表面电阻 surface resistanc

    • 2.0.34 体积电阻 volume resistance

    • 2.0.35 表面电阻率 surface resistiv

    • 2.0.36 体积电阻率 volume resistivi

    • 2.0.37 专用消防口 fire-fight acces

    • 2.0.38 自净时间 recovery time of

    • 2.0.39 生物洁净室 biological clean

    • 2.0.40 浮游菌 airborne viable ba

    • 2.0.41 沉降菌 settlemen bacteria

    • 2.0.42 U描述符 U descriptor     

    • 2.0.43 M描述符 M descriptor     

    • 2.0.44 工业管道 industrial pipe  

  • 3 空气洁净度等级

    • 3.0.1 洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子空气洁净度等级应

    • 3.0.2 空气洁净度等级所处状态包括空态、静态、动态,空

    • 3.0.3 空气洁净度的测试方法应按本规范附录A的要求进行。

    • 3.0.4 当洁净室(区)内的产品生产工艺要求控制微生物、

  • 4 总体设计

    • 4.1 洁净厂房位置选择和总平面布置

      • 4.1.1 洁净厂房位置选择应符合下列规定,并经技术经济方

      • 4.1.2 对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择,应实

      • 4.1.3 洁净厂房新风口与交通干道边沿的最近距离宜大于5

      • 4.1.4 洁净厂房周围宜设置环形消防车道,也可沿厂房的两

      • 4.1.5 洁净厂房周围的道路面层应选用整体性能好、发尘少

      • 4.1.6 洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪,不应种植对

    • 4.2 工艺平面布置和设计综合协调

      • 4.2.1 工艺平面布置应符合下列规定:     1 工艺

      • 4.2.2 洁净厂房的平面和空间设计应满足生产工艺和空气洁

      • 4.2.3 洁净厂房内应少设隔间,但在下列情况下应进行分隔

      • 4.2.4 在满足生产工艺和空气洁净度等级要求的条件下,洁

    • 4.3 人员净化和物料净化

      • 4.3.1 洁净厂房内应设置人员净化、物料净化用室和设施,

      • 4.3.2 人员净化用室和生活用室的设置应符合下列规定:

      • 4.3.3 人员净化用室和生活用室的设计应符合下列规定:

      • 4.3.4 人流路线应符合下列规定:     1 人流路线

      • 4.3.5 根据不同的空气洁净度等级和工作人员数量,洁净厂

      • 4.3.6 洁净工作服更衣室、洗涤室的空气净化要求宜根据产

      • 4.3.7 洁净室内设备和物料出入口应根据设备和物料的性质

    • 4.4 噪声控制

      • 4.4.1 洁净室内的空态噪声级,非单向流洁净室不应大于6

      • 4.4.2 洁净室的噪声频谱限制应采用倍频程声压级,空态噪

      • 4.4.3 洁净厂房的平面和空间设计应考虑噪声控制要求。洁

      • 4.4.4 洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射

      • 4.4.5 净化空调系统噪声超过允许值时,应采取隔声、消声

      • 4.4.6 根据室内容许噪声级要求,净化空调系统风管内风速

    • 4.5 微振控制

      • 4.5.1 有微振控制要求的洁净厂房设计应符合下列规定:

      • 4.5.2 精密设备、精密仪器仪表的容许振动值应由生产工艺

      • 4.5.3 精密设备、精密仪器仪表的被动隔振设计应具备下列

      • 4.5.4 精密设备、精密仪器仪表的被动隔振设计应符合下列

      • 4.5.5 精密设备、精密仪器仪表的被动隔振措施宜采用能自

  • 5 建筑

    • 5.1 一般规定

      • 5.1.1 洁净厂房的建筑平面和空间布局应具有适当的灵活性

      • 5.1.2 洁净厂房围护结构的材料选型应符合保温、隔热、防

      • 5.1.3 洁净厂房主体结构的耐久性应与室内装备和装修水平

      • 5.1.4 送、回风管和其他管线暗敷时,应设置技术夹层、技

      • 5.1.5 对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房的平面布局

    • 5.2 防火和疏散

      • 5.2.1 洁净厂房的耐火等级不应低于二级。

      • 5.2.2 洁净厂房内生产工作间的火灾危险性,应符合现行国

      • 5.2.3 生产类别为甲、乙类生产的洁净厂房宜为单层厂房,

      • 5.2.4 洁净室的顶棚、壁板及夹芯材料应为不燃烧体,且不

      • 5.2.5 在一个防火分区内的综合性厂房,洁净生产区与一般

      • 5.2.6 技术竖井井壁应为不燃烧体,其耐火极限不应低于1

      • 5.2.7 洁净厂房每一生产层,每一防火分区或每一洁净区的

      • 5.2.8 安全出入口应分散布置,从生产地点至安全出口不应

      • 5.2.9 洁净区与非洁净区、洁净区与室外相通的安全疏散门

      • 5.2.10 洁净厂房同层洁净室(区)外墙应设可供消防人员

      • 5.2.11 洁净厂房外墙上的吊门、电控自动门以及装有栅栏

    • 5.3 室内装修

      • 5.3.1 洁净厂房的建筑围护结构和室内装修,应选用气密性

      • 5.3.2 洁净室内墙壁和顶棚的装修应符合下列规定:   

      • 5.3.3 洁净室地面设计应符合下列规定:     1 洁

      • 5.3.4 洁净厂房技术夹层的墙壁和顶棚表面宜平整、光滑,

      • 5.3.5 洁净室(区)和人员净化用室设置外窗时,应采用双

      • 5.3.6 洁净室内的密闭门应朝空气洁净度较高的房间开启,

      • 5.3.7 洁净室门窗、墙壁、顶棚等的设计应符合下列规定:

      • 5.3.8 洁净室内的色彩宜淡雅柔和。室内顶棚和墙面表面材

      • 5.3.9 洁净度等级严于8级的洁净室的墙板和顶棚宜采用轻

      • 5.3.10 室内装修材料的燃烧性能必须符合现行国家标准《

  • 6 空气净化

    • 6.1 一般规定

      • 6.1.1 洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级应满足生产工

      • 6.1.2 应根据空气洁净度等级的不同要求,选用不同的气流

      • 6.1.3 下列情况之一者,其净化空调系统宜分开设置:  

      • 6.1.4 洁净室的温、湿度范围应符合表6.1.4的规定。

      • 6.1.5 洁净室内的新鲜空气量应取下列两项中的最大值:

      • 6.1.6 洁净区的清扫宜采用移动式高效真空吸尘器,但空气

      • 6.1.7 净化空调系统设计对维护管理的要求应符合本规范附

    • 6.2 洁净室压差控制

      • 6.2.1 洁净室(区)与周围的空间必须维持一定的压差,并

      • 6.2.2 不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa,洁净

      • 6.2.3 洁净室维持不同的压差值所需的压差风量,根据洁净

      • 6.2.4 送风、回风和排风系统的启闭宜联锁。正压洁净室联

      • 6.2.5 非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班

    • 6.3 气流流型和送风量

      • 6.3.1 气流流型的设计应符合下列规定:     1 洁

      • 6.3.2 洁净室的送风量应取下列三项中的最大值:    

      • 6.3.3 为保证空气洁净度等级的送风量,应按表6.3.3

      • 6.3.4 洁净室内各种设施的布置应考虑对气流流型和空气洁

    • 6.4 空气净化处理

      • 6.4.1 空气过滤器的选用、布置和安装方式应符合下列规定

      • 6.4.2 对较大型的洁净厂房的净化空调系统的新风宜集中进

      • 6.4.3 净化空调系统设计应合理利用回风。

      • 6.4.4 净化空调系统的风机宜采取变频措施。

      • 6.4.5 严寒及寒冷地区的新风系统应设置防冻保护措施。

    • 6.5 采暖通风、防排烟

      • 6.5.1 空气洁净度等级严于8级的洁净室不得采用散热器采

      • 6.5.2 洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备,应设局部

      • 6.5.3 在下列情况下,局部排风系统应单独设置:    

      • 6.5.4 洁净室的排风系统设计应符合下列规定:     

      • 6.5.5 换鞋、存外衣、盥洗、厕所和淋浴等生产辅助房间应

      • 6.5.6 根据生产工艺要求应设置事故排风系统。事故排风系

      • 6.5.7 洁净厂房排烟设施的设置应符合下列规定:    

    • 6.6 风管和附件

      • 6.6.1 净化空调系统的新风管段应设置电动密闭阀、调节阀

      • 6.6.2 下列情况之一的通风、净化空调系统的风管应设防火

      • 6.6.3 净化空调系统的风管和调节风阀、高效空气过滤器的

      • 6.6.4 净化空调系统的送、回风总管及排风系统的吸风总管

      • 6.6.5 在空气过滤器的前、后应设置测压孔或压差计。在新

      • 6.6.6 风管、附件及辅助材料的耐火性能应符合下列规定:

  • 7 给水排水

    • 7.1 一般规定

      • 7.1.1 洁净厂房内的给水排水干管应敷设在技术夹层或技术

      • 7.1.2 管道外表面可能结露时,应采取防护措施。防结露层

      • 7.1.3 管道穿过洁净室墙壁、楼板和顶棚时应设套管,管道

    • 7.2 给水

      • 7.2.1 洁净厂房内的给水系统应符合生产、生活和消防等各

      • 7.2.2 水质要求较高的纯水供水管道应采用循环供水方式,

      • 7.2.3 管材选择应符合下列规定:     1 纯水管道

      • 7.2.4 循环冷却水管道应预留清洗口。

      • 7.2.5 洁净厂房周围应设置洒水设施。

    • 7.3 排水

      • 7.3.1 排水系统应符合工艺设备排出的废水性质、浓度和水

      • 7.3.2 洁净室内的排水设备以及与重力回水管道相连接的设

      • 7.3.3 洁净室内地漏等排水设施的设置应符合下列规定:

      • 7.3.4 洁净厂房内应采用不易积存污物、易于清洗的卫生设

      • 7.3.5 洁净厂房宜设置消防排水设施。

    • 7.4 消防给水和灭火设备

      • 7.4.1 洁净厂房必须设置消防给水设施,消防给水设施设置

      • 7.4.2 洁净厂房的消防给水和固定灭火设备的设置应符合现

      • 7.4.3 洁净室的生产层及可通行的上、下技术夹层应设置室

      • 7.4.4 洁净厂房内各场所必须配置灭火器,配置灭火器设计

      • 7.4.5 洁净厂房内设有贵重设备、仪器的房间设置固定灭火

  • 8 工业管道

    • 8.1 一般规定

      • 8.1.1 洁净室(区)工业管道的敷设应符合下列规定:  

      • 8.1.2 洁净室(区)工业管道的设计应符合现行国家标准《

      • 8.1.3 工业管道设计应符合下列规定:     1 应按

      • 8.1.4 工业管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝

      • 8.1.5 可燃气体管道、氧气管道的末端或最高点均应设置放

      • 8.1.6 气体净化装置的选择和配置应符合气源和生产工艺对

      • 8.1.7 气体过滤器的选择和配置应符合生产工艺对气体洁净

      • 8.1.8 洁净厂房内、生产类别为现行国家标准《建筑设计防

    • 8.2 管道材料和阀门

      • 8.2.1 工业管道材料和阀门应根据所输送物料的物化性质和

      • 8.2.2 高纯气体管道和阀门的选用应符合生产工艺的要求,

      • 8.2.3 当干燥压缩空气露点低于-70℃时,应采用内壁光

      • 8.2.4 阀门材质宜与相连接的管道材质相适应。

    • 8.3 管道连接

      • 8.3.1 工业管道的连接应符合下列规定:     1 管

      • 8.3.2 管道与设备的连接应符合设备的连接要求。当采用软

      • 8.3.3 管道与管道、管道与阀门连接的密封材料应符合下列

      • 8.3.4 洁净室(区)内的工业管道应根据管子表面温度和环

    • 8.4 安全技术

      • 8.4.1 下列部位应设可燃气体报警装置和事故排风装置,报

      • 8.4.2 可燃气体管道应采取下列安全技术措施:     

      • 8.4.3 氧气管道应采取下列安全技术措施:     1

      • 8.4.4 工业管道应按不同介质设明显的标识。

      • 8.4.5 各种气瓶库应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不

  • 9 电气

    • 9.1 配电

      • 9.1.1 洁净厂房低压配电设计应采用220/380V。带

      • 9.1.2 洁净厂房的用电负荷等级和供电要求应按现行国家标

      • 9.1.3 洁净厂房消防用电设备的供配电设计应按现行国家标

      • 9.1.4 电源进线应设置切断装置,并宜设在洁净区外便于管

      • 9.1.5 洁净室内的配电设备应选择不易积尘、便于擦拭的小

      • 9.1.6 洁净室内的电气管线宜暗敷,穿线导管应采用不燃材

    • 9.2 照明

      • 9.2.1 洁净室内照明光源宜采用高效荧光灯。若工艺有特殊

      • 9.2.2 洁净室内一般照明灯具应为吸顶明装。当灯具嵌入顶

      • 9.2.3 无采光窗的洁净室(区)的生产用房间一般照明的照

      • 9.2.4 洁净室内一般照明的照度均匀度不应小于0.7。

      • 9.2.5 洁净厂房内备用照明的设置应符合下列规定:   

      • 9.2.6 洁净厂房内应设置供人员疏散用的应急照明。在安全

      • 9.2.7 洁净厂房中有爆炸危险的房间的照明灯具和电气线路

    • 9.3 通信

      • 9.3.1 洁净厂房内应设置与厂房内、外联系的通信装置。洁

      • 9.3.2 洁净厂房根据生产管理和生产工艺特殊需要,宜设置

      • 9.3.3 洁净厂房的生产层、技术夹层、机房、站房等均应设

      • 9.3.4 洁净厂房应设置消防值班室或控制室,并不应设在洁

      • 9.3.5 洁净厂房的消防控制设备及线路连接应可靠。控制设

      • 9.3.6 洁净厂房中易燃、易爆气体、液体的贮存和使用场所

    • 9.4 自动控制

      • 9.4.1 洁净厂房宜设置净化空调系统等的自动监控装置。

      • 9.4.2 洁净室净化空调系统宜选用变频调速控制的风机。

      • 9.4.3 净化空调系统的电加热器应设置无风、超温断电保护

    • 9.5 静电防护及接地

      • 9.5.1 洁净厂房应根据工艺生产要求采取静电防护措施。

      • 9.5.2 洁净室(区)内的防静电地面,其性能应符合下列规

      • 9.5.3 洁净室的净化空调系统应采取防静电接地措施。

      • 9.5.4 洁净室内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体

      • 9.5.5 防静电接地系统应分别按不同要求设置接地连接端子

      • 9.5.6 洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电

      • 9.5.7 接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等

  • 附录A 洁净室或洁净区性能测试和认证

    • A.1 通则

      • A.1.1 洁净室或洁净区应监测或定期进行性能测试,以认证

      • A.1.2 洁净室或洁净区性能测试认证工作应由专门检测认证

      • A.1.3 测试和认证工作之前,系统应达到稳定运行。测试和

    • A.2 洁净室或洁净区性能测试要求

      • A.2.1 洁净室或洁净区应进行下列三项测试:     1

      • A.2.2 洁净室或洁净区的三项测试应符合下列规定:   

      • A.2.3 当洁净室或洁净区已对粒子浓度、风速或风量、静压

      • A.2.4 洁净室或洁净区洽商选择的测试要求应符合表A.2

    • A.3 洁净室主要测试方法

      • A.3.1 风量或风速测试应符合下列规定:     1 对

      • A.3.2 静压差测试应符合下列规定:     1 静压差

      • A.3.3 已安装过滤器检漏测试应符合下列规定:     

      • A.3.4 密闭性测试应用于确认有无被污染的空气从相邻洁净

      • A.3.5 洁净度的检测应符合下列规定:     1 使用

      • A.3.6 对超出等级范围粒子的检测应符合下列规定:   

    • A.4 监测

      • A.4.1 按照双方协议书的规定进行空气中悬浮粒子浓度和其

      • A.4.2 双方协议书中应明确测量空气悬浮粒子浓度最少采样

      • A.4.3 当监测结果超过规定的限值时,则应认定设施不符合

    • A.5 认证

      • A.5.1 按双方协议书的规定及第A.2节的要求,按第A.

      • A.5.2 记录数据评价应符合下列规定:     1 在空

      • A.5.3 每次性能测试或再认证测试应做记录,并应提交性能

      • A.5.4 测试机构应提交洁净室检验证书、再检验证书。

  • 附录B 洁净厂房生产工作间的火灾危险性分类举例

  • 附录C 净化空调系统设计对维护管理的要求

    • C.0.1 洁净室的净化空气监测频数宜按表C.0.1的规定

    • C.0.2 当出现下列任何一种情况时,应更换高效空气过滤器

    • C.0.3 当洁净厂房内采用高效真空吸尘器进行清扫时,应定

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1.0.1 为了使洁净厂房设计符合节约能源、劳动卫生和环境保护的要求,做到技术先进、经济适用、安全可靠,确保洁净厂房设计质量,制定本规范