1 总 则

• 1.0.1 为确保电子工业纯水系统出水满足电子产品生产工艺

• 1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工业纯水系统

• 1.0.3 电子工业纯水系统设计应贯彻执行国家的技术经济政

• 1.0.4 电子工业纯水系统设计应根据主体工程建设规划、生

• 1.0.5 电子工业纯水系统的设计应为施工安装、维护管理、

• 1.0.6 电子工业纯水系统的改建、扩建设计，应合理利用、

• 1.0.7 纯水回收和节水设施宜与纯水制备系统统筹规划，并

• 1.0.8 纯水系统排放的废水，应达到国家和地方排放标准后

• 1.0.9 电子工业纯水系统的工程设计，除应符合本规范外，

2 术 语

• 2.0.1 电子工业纯水 pure water for e

• 2.0.2 电子工业纯水系统 pure water sys

• 2.0.3 软化水 soft water     除掉部分

• 2.0.4 淤塞指数(SDI) silt density

• 2.0.5 电阻率 resistivity     度量水

• 2.0.6 电导率 conductivity     度量

• 2.0.7 总有机碳(TOC) total organic

• 2.0.8微滤(MF) microfiltration  

• 2.0.9 超滤(UF) ultrafiltration

• 2.0.10 反渗透(RO) reverse osmosi

• 2.0.11 电脱盐(EDI) electrodeioni

• 2.0.12 紫外线杀菌 UV sterilization

• 2.0.13 紫外线除有机碳 UV-TOC Removal

• 2.0.14 膜脱气装置(MDG) membrane de

• 2.0.15 供水环路 distribution loop

• 2.0.16 背压调节阀组 back pressure r

3 纯水制备工艺

• 3. 1 一般规定

  • 3.1.1 电子工业纯水系统应根据电子产品生产工艺要求，合

  • 3.1.2 电子工业纯水系统制水流程和设备的选择应根据对纯

  • 3.1.3 电子工业纯水系统应根据最终产品水水质要求选择简

  • 3.1.4 纯水站的产水量应根据各类产品水量加系统自用水量

  • 3.1.5 电子工业纯水系统设计前应取得全部可利用水源的水

  • 3.1.6 对可能受到海水倒灌或其他因素影响的水源，应掌握

  • 3.1.7 电子工业纯水制备系统应由预处理、脱盐及深度处理

  • 3.1.8 系统设计中每个水处理装置的出水水质应满足后续处

• 3. 2 预 处 理

  • 3.2.1 预处理系统需要达到的水质指标应根据所选脱盐装置

  • 3. 2. 2 原水浊度较高时宜采用凝聚澄清过滤工艺，设计

  • 3.2.3 原水中铁锰含量不能满足后续装置进水要求时，应采

  • 3. 2. 4 活性炭过滤器应根据进水水质、处理要求和活性

  • 3.2.5 防止反渗透膜结垢的设计应符合下列要求：    

  • 3.2.6 采用药剂氧化法降低有机物和抑制微生物时，其加氯

  • 3.2.7 原水经氧化处理或原水余氯含量超过后续处理装置的

  • 3.2.8 当冬季原水水温较低时进入反渗透装置前是否提高水

• 3. 3 脱盐及深度处理

  • 3.3.1 脱盐系统的选择应根据处理水量、进出水质的要求，

  • 3.3.2 反渗透装置的设置应符合下列要求：     1

  • 3.3.3 离子交换装置的设置应符合下列要求：     1

  • 3.3.4 二氧化碳器或真空除气器的填料层高度，应根据填料

  • 3.3.5 电脱盐装置的设置应符合下列要求：     1

  • 3.3.6 深度脱盐的混合床离子交换器，宜采用氮气混合离子

  • 3.3.7 脱氧膜设备和纯水储罐气封氮气的纯度，不应低于9

  • 3.3.8 紫外线灭菌器后应安装灭活细菌过滤器，过滤精度不

• 3. 4 精 处 理

  • 3.4.1 最终纯水水质要求较高时，精处理系统应与车间供水

  • 3.4.2 系统设备的设计流量应按产水量与循环附加流量之和

  • 3.4.3 精处理混合床应符合下列要求：     1 应采

  • 3.4.4 最终用水有不同水温要求时，应在精混床后分别换热

  • 3.4.5 精处理系统的最终出水管上应根据水质要求设置相应

• 3. 5 特殊水质指标的技术措施

  • 3.5.1 纯水水质对微粒、总有机碳、细菌、溶解氧、二氧化

  • 3.5.2 纯水水质对TOC有要求时，应根据水质要求采用下

  • 3.5.3 纯水水质含有溶解氧指标时，系统中应设置脱氧装置

  • 3.5.4 最终微粒粒径要求不小于0. 1μm时，应在精处

  • 3.5.5 产品水水质指标有二氧化硅含量要求时，系统设计应

• 3. 6 水箱、水泵

  • 3.6.1 纯水制备系统的水箱材质选择应满足所贮存水的水质

  • 3.6.2 纯水制造系统过程中水的电阻率较高、防止二氧化碳

  • 3.6.3 氮封装置的供气量应大于或等于对应水泵组的最大输

  • 3.6.4 纯水供水泵宜采用变频水泵。纯水使用点压力要求较

4 纯水输送和分配

• 4. 1 一般规定

  • 4.1.1 电子工业纯水的输配管路形式应根据供水水量、纯水

  • 4.1.2 管道、阀门、附件的选用应与纯水水质相匹配，并应

  • 4.1.3 纯水输配管路根据不同纯水水质及使用条件要求可选

  • 4.1.4 与纯水直接接触的设备内表面应光洁、平整，化学性

  • 4.1.5 纯水输配系统的工作压力不得大于国家现行有关产品

  • 4.1.6 热纯水的使用应根据水量和使用点的分布特点结合技

• 4. 2 管道设计

  • 4.2.1 纯水供、回水管路应采用架空敷设，并应做到安全可

  • 4.2.2 管道穿过建筑物楼板或墙面时，应加套管，套管与管

  • 4.2.3 管道不应穿过防火墙或防爆墙；必须穿过防火墙或防

  • 4.2.4 纯水管路系统的布置应使管道系统具有必要的柔性。

  • 4.2.5 纯水管路系统采用独立设置的供、回水管路时，应保

  • 4.2.6 纯水管路系统的设计应避免死水滞留。死水滞留不可

  • 4.2.7 纯水管路系统循环供水应符合下列要求：     

  • 4.2.8 纯水对微粒有要求时，管路系统中经常启闭的阀门宜

  • 4.2.9 纯水管路系统供、回水管上设置的流量计，宜采用超

  • 4.2.10 纯水管路系统中需要清洗、杀菌的部位，应设置清

5 纯水回收和节水

• 5. 1 一般规定

  • 5.1.1 电子工业纯水系统的设计应对整个工程项目的用水特

  • 5.1.2 改建、扩建工程设计，对原有高水耗水处理工艺和设

  • 5.1.3 在缺水城市和地区，应按当地有关规定采用严格的节

• 5. 2 纯水回收

  • 5.2.1 纯水回收设计应与电子产品生产工艺设计密切配合，

  • 5.2.2 经管路系统收集的用后纯水应连续检测其电导率、p

  • 5.2.3 回收水处理系统流程的拟定和设备的选择，应根据工

• 5. 3 节水措施

  • 5.3.1 水处理单元排水回收再用，其设计应符合下列要求：

  • 5.3.2 在大中型纯水制备系统中，下列排水应回收至纯水制

  • 5.3.3 下列排水应予以回收至纯水制备系统：     1

  • 5.3.4 设备冷却水应循环使用。采用直流且为新鲜水时，应

  • 5.3.5 换热设备的蒸汽凝结水应予回收利用。

  • 5.3.6 纯水站应对耗用的自用水量进行计量。

6 纯水站房

• 6. 1 一般规定

  • 6.1.1 纯水站房的总平面布置应符合厂区总体规划的要求，

  • 6.1.2 纯水站房宜与其他建筑物合建；合建建筑物为多层时

  • 6.1.3 纯水站房设计应满足主要水处理单元运行观察、流量

  • 6.1.4 需经常监视或操作的设备、仪表、阀门、取样装置等

  • 6.1.5 纯水站内管道应用不同标识标明管内介质种类及流向。

  • 6.1.6 设备或管道结露影响环境，引起设备或物品受损害时

  • 6.1.7 操作气动阀门和混合离子交换树脂的气源应经除油、

  • 6.1.8 在使用腐蚀性和有毒化学药剂的场所，必须设置紧急

  • 6.1.9 站内明沟应设置盖板。

  • 6.1.10 在纯水站房化学药剂贮存和装卸区域，必须采取防

• 6. 2 设备布置

  • 6.2.1 设备布置应适应生产工艺调整的灵活性，并应满足电

  • 6.2.2 设备布置应综合协凋运行操作、施工安装、维修、公

  • 6.2.3 纯水站应设置必要的辅助间，其组成和面积应根据水

  • 6.2.4 空气压缩机、鼓风机等高噪声设备，宜布置在单独房

  • 6.2.5 水处理设备布置在室外时，其运行操作部位及阀门、

  • 6.2.6 反渗透装置的两端，应有足够的装卸膜元件的操作空

  • 6.2.7 在地面上不便操作、检修的水处理设备和阀门等，应

  • 6.2.8 酸碱等药剂贮存、配制设备区应避开人流通道，宜靠

  • 6.2.9 酸碱等药剂贮存、配制设备区，应设置防护围堤，堤

  • 6.2.10 设备间应有足够的操作维修通道和必要的安全距离

  • 6.2.11 控制室和化验室应布置在通风采光良好且噪声、震

  • 6.2.12 化学药剂贮存、配制、装卸、转输等设备的布置，

  • 6.2.13 改建、扩建工程的设备布置，应符合下列要求：

• 6. 3 管道布置

  • 6.3.1 管道布置应符合下列要求：     1 应合理安

  • 6.3.2 必须跨越人行通道的管道，其净高不应低于2. 2

  • 6.3.3 腐蚀性介质、有毒介质管道架空敷设时，应避免法兰

  • 6.3.4 酸碱液管道严禁敷设在配电盘、控制盘等电气设备上

  • 6.3.5 管道不宜穿越伸缩缝，沉降缝或变形缝。必须穿越时

  • 6.3.6 设于室内的鼓风式二氧化碳脱气塔的排气管应用管道

• 6. 4 土 建

  • 6.4.1 纯水站房的跨度、柱距和层高等除有特殊要求外，宜

  • 6.4.2 纯水站房的高度应根据设备吊装所需空间、设备接口

  • 6.4.3 纯水站房楼地面的荷载应根据工艺设备安装和检修的

  • 6.4.4 纯水站房的出、入口应便于操作人员通行，并应至少

  • 6.4.5 站房内的设备检修需要使用车辆等运输工具时，纯水

  • 6.4.6 两层和两层以上的纯水站房应按设备检修部件的大小

  • 6.4.7 纯水站房内设备吊装平台、高位平台，以及水池、罐

• 6. 5 电 气

  • 6.5.1 纯水站房内的供电负荷级别和供电方式，应根据工艺

  • 6.5.2 电机、启动控制装置、灯具和导线型式的选择，应与

  • 6.5.3 纯水制备系统宜设置专用的配电箱。

  • 6.5.4 纯水站房及构筑物工作面上照度值的确定，应符合现

  • 6.5.5 在纯水站房的主要位置及通道，宜设置应急照明。

• 6. 6 采暖通风

  • 6.6.1 纯水站房内工作地点的夏季环境温度，应根据设备散

  • 6.6.2 设置集中采暖的纯水站房内，值班室、控制室和分析

  • 6.6.3 纯水站房内放散有害物质的设备应采用局部排风；当

  • 6.6.4 化学药剂间应设置机械通风，并应分别在室内外便于

  • 6.6.5 采用全面排风时，宜采用自然通风。自然通风不能满

• 6. 7 给水排水和消防

  • 6.7.1 纯水站内的生活给水可采用一路供水。给水系统同时

  • 6.7.2 纯水站房内高于40℃的排水不得直接排入室外排水

  • 6.7.3 防火设计应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》

7 药品贮存、计量和输送

• 7. 1 一般规定

  • 7.1.1 药品贮存量应根据药品的消耗量、供应情况、包装和

  • 7.1.2 药品贮存间的设计应符合下列要求：     1

  • 7.1.3 药品的存放应符合下列要求：     1 药品应

  • 7.1.4 药品贮存间应根据药品的性质、贮存及使用条件设置

  • 7.1.5 药品贮存、配置、投加、计量设备和输送管道以及建

  • 7.1.6 不同离子交换器宜设置专用酸、碱再生计量设备。

• 7. 2 酸、碱及盐

  • 7.2.1 酸、碱及盐等药剂的装卸和贮存设备，应采取安全和

  • 7.2.2 盐酸贮槽宜采用液面密封设施，排气口应设置中和、

  • 7.2.3 装卸输送浓酸、碱液体，可采用负压抽吸泵输送或重

8 控制及仪表

• 8. 1 一般规定

  • 8.1.1 电子工业纯水系统的设计应按系统规模、出水水质、

  • 8.1.2 电子工业纯水系统的自动控制设计，应同时保证手动

  • 8.1.3 电子工业纯水系统应根据制水工艺、制水设备及其介

  • 8.1.4 现场仪表应按介质输送系统和制水设备的控制参数，

• 8. 2 纯水系统监控系统设计选型

  • 8.2.1 纯水系统监控系统应按纯水制备过程测量与控制技术

  • 8.2.2小型监控系统宜采用集中式控制系统，选用具有配套控

  • 8.2.3 大、中型监控系统应采用集散型控制系统，有条件时

  • 8.2.4 纯水系统现场仪表、在线测量仪器、传感器、变送器

• 8. 3 现场控制系统及集中监控系统设计

  • 8.3.1 纯水系统现场控制系统应根据预处理、脱盐处理、精

  • 8.3.2 纯水制备系统控制装置的设计，应符合下列要求：

  • 8.3.3 液体化学品输送加药系统控制装置的设计应符合下列

  • 8.3.4 具有配套专用控制器的制水设备和现场测量仪器仪表

  • 8.3.5 纯水系统动力配电系统应按用电设备和监控系统的用

  • 8.3.6 集中监控系统主控柜及计算机管理系统，应满足工艺

• 8. 4 仪表设置

  • 8.4.1 离子交换除盐系统控制仪表的设置，应根据制水工艺

  • 8.4.2 反渗透装置控制仪表的设置应符合下列要求：   

  • 8.4.3 电脱盐装置进水、产水和浓水应设置电导率表和压力

附录A 水质全分析报告

附录B 离子交换器设计参数

• B.0.1 顺流再生式离子交换器的设计宜符合表B. 0.

• B.0.2 逆流再生式离子交换器的设计宜符合表B. 0.

• B. 0. 3 浮动床离子交换器的设计宜符合表B. 0.

• B. 0. 4 双室床、双室浮动床离子交换器的设计宜符合表