1 总 则

• 1.0.1 为了加强洁净厂房工程的施工及质量管理，确保工程

• 1.0.2 本规范适用于新建、改建和扩建的工业洁净厂房的施

• 1.0.3 本规范中的施工质量验收应与现行国家标准《建筑工

• 1.0.4 洁净厂房的施工及质量验收除应符合本规范外，尚应

2 术语、缩略语

• 2.1 术 语

  • 2.1.1 洁净厂房 industrial cleanro

  • 2.1.2 洁净度等级 classification   

  • 2.1.3 漏风量 air system leakage

  • 2.1.4 漏光检测 air leak cheek wit

  • 2.1.5 特种气体 special gas     指电

  • 2.1.6 化学品 chemical     指产品生产过

  • 2.1.7 配管 piping     洁净厂房中，用以输

  • 2.1.8 射线照相检验 radiographic exa

• 2.2 缩 略 语

  • 2.2.1 PVC(polyvinyl chloride)

  • 2.2.2 BA(bright annealing pip

  • 2.2.3 EP(electro-polished pip

  • 2.2.4 PP(polypropylene) 聚丙烯

  • 2.2.5 PE(polyethylene) 聚乙烯

  • 2.2.6 PVDF(polyvinylidenefluo

3 基本规定

• 3.0.1 洁净厂房施工前应根据具体工程项目的特点，制订施

• 3.0.2 对洁净厂房工程内各专业设计图纸进行深化施工详图

• 3.0.3 洁净厂房工程的隐蔽工程，隐蔽前应经过验收。

• 3.0.4 分项工程检验批质量验收合格应符合下列规定：  

4 建筑装饰装修

• 4.1 一般规定

  • 4.1.1 洁净厂房装饰装修工程进行施工详图设计时，应包括

  • 4.1.2 洁净厂房装修工程还应符合现行国家标准《建筑内部

  • 4.1.3 洁净厂房装饰装修工程的材料选择应符合下列规定：

  • 4.1.4 洁净厂房装饰装修工程的施工应在厂房主体结构和屋

  • 4.1.5 洁净厂房装饰装修工程施工过程应对施工现场进行封

  • 4.1.6 洁净厂房装饰装修工程施工时的环境温度不宜低于5

  • 4.1.7 装饰装修工程施工过程应保持施工现场清洁，对隐蔽

  • 4.1.8 洁净厂房装修工程施工过程应保护已完成的装饰装修

• 4.2 墙、柱、顶涂装工程

  • 4.2.1 本节适用于水性、溶剂型以及防尘、防霉涂料的涂装

  • 4.2.2 洁净厂房涂装工程的检验批应按同类涂料涂饰面积每

  • Ⅰ 主控项目

    • 4.2.3 基层状况的确认应符合下列规定：     1 基

    • 4.2.4 涂装工程所用涂料的品种、型号和性能应符合设计要

    • 4.2.5 涂装基层应符合下列规定：     1 当在混凝

    • 4.2.6 涂装工程应符合下列规定：     1 涂料颜色

    • 4.2.7 涂装层与门窗、高效过滤器、灯具、管线等之间的衔

  • Ⅱ 一般项目

    • 4.2.8 涂装层质量应符合下列规定：     1 颜色应

    • 4.2.9 涂装层与其他装修衔接处应吻合，并应界面清晰。

• 4.3 地面涂装工程

  • 4.3.1 本节适用于水性涂料、溶剂型涂料以及防尘、防霉涂

  • 4.3.2 基层状况的确认应符合下列规定：     1 基

  • Ⅰ 主控项目

    • 4.3.3 当有防静电要求时，应符合现行国家标准《防静电工

    • 4.3.4 基层表面应符合下列规定：     1 当基底表

    • 4.3.5 面层的结合层应按下列规定进行涂装：     1

    • 4.3.6 面层涂装应符合下列规定：     1 涂装层的

    • 4.3.7 地面涂装用材料应具有防霉、防水、易清洗、耐磨、

  • Ⅱ 一般项目

    • 4.3.8 涂装颜色应符合设计要求，并应色泽均匀、无色差、

    • 4.3.9 踢脚板与墙面应平齐，阴、阳角宜为圆角。    

• 4.4 高架地板

  • 4.4.1 高架地板及其支撑结构应符合设计和承重要求。安装

  • 4.4.2 铺设高架地板的建筑地面应符合下列规定：    

  • 4.4.3 高架地板的面层和支承件应平整、坚实，并应具有耐

  • Ⅰ 主控项目

    • 4.4.4 对有防静电要求的高架地板，安装前应核查产品出厂

    • 4.4.5 对有通风要求的高架地板，面层上的开孔率和开孔分

    • 4.4.6 高架地板支撑立杆与建筑地面的连接或粘结应牢固可

  • Ⅱ 一般项目

    • 4.4.7 高架地板面层铺设允许偏差应符合表4.4.7的规

    • 4.4.8 高架地板施工前应认真放线，正确选择标高基准点和

    • 4.4.9 高架地板安装后行走应无摆动、无声响，牢固性应好

    • 4.4.10 高架地板边角位置板块的安装应根据实际情况进行

• 4.5 吊顶工程

  • 4.5.1 吊顶工程施工前应对下列隐蔽工程进行验收、交接：

  • 4.5.2 吊顶工程的检验批应按洁净室(区)面积500m2

  • 4.5.3 安装龙骨前，应按设计要求对房间净高、洞口标高和

  • 4.5.4 吊顶工程中的预埋件、钢筋吊杆和型钢吊杆应进行防

  • Ⅰ 主控项目

    • 4.5.5 吊顶工程验收时应检查下列文件和记录：     

    • 4.5.6 吊顶的固定和吊挂件应与主体结构相连；不得与设备

    • 4.5.7 空气过滤器、灯具、烟感探测器、扬声器和各类管线

    • 4.5.8 吊顶的标高、尺寸、起拱、板间缝隙应符合设计要求

    • 4.5.9 吊顶饰面的材质、品种、规格等应符合设计要求，并

    • 4.5.10 吊杆间距宜小于1.5m。吊杆与主龙骨端部距离

  • Ⅱ 一般项目

    • 4.5.11 吊杆、龙骨和饰面板的安装应安全、牢固。   

    • 4.5.12 吊杆、龙骨的材质、规格及连接方式应符合设计要

    • 4.5.13 吊顶饰面表面应清洁、光滑、色泽一致，不得有翘

    • 4.5.14 金属吊杆、龙骨的接缝应均匀一致，角缝应吻合，

    • 4.5.15 吊顶工程安装的允许偏差和检验方法应符合表4.

• 4.6 墙体工程

  • 4.6.1 本节适用于洁净室(区)内板材隔墙、复合轻质墙板

  • 4.6.2 墙体工程施工前应进行下列验收和交接：     

  • 4.6.3 墙体工程验收时，应检查下列文件和记录：    

  • Ⅰ 主控项目

    • 4.6.4 墙体工程的检验批应按洁净室(区)面积500m2

    • 4.6.5 墙体材料的品种、规格、性能、填充用材等均应符合

    • 4.6.6 金属壁板安装前应按施工图进行放线。墙角应垂直交

    • 4.6.7 墙体面板接缝间隙应一致，每条面板缝间隙误差不得

    • 4.6.8 墙体面板上的电气接线盒、控制面板和管线穿越处的

    • 4.6.9 安装门窗的预留洞口应符合设计要求，并应平整、严

  • Ⅱ 一般项目

    • 4.6.10 隔墙板材安装应牢固，预埋件、连接件的位置、数

    • 4.6.11 墙体板材安装应垂直、平整，位置应正确；与吊顶

    • 4.6.12 墙体表面应平整、光滑、色泽一致，金属壁板的面

    • 4.6.13 墙体板材安装的允许偏差和检验方法应符合表4.

• 4.7 门窗安装工程

  • 4.7.1 门窗安装前，应对门窗洞口或副框尺寸进行检验，并

  • 4.7.2 门窗工程验收时应检查下列文件：     1 门

  • Ⅰ 主控项目

    • 4.7.3 洁净室门窗工程的检验批，应按每50樘为一个检验

    • 4.7.4 洁净室门窗的品种、类型、规格、构造、型材厚度、

    • 4.7.5 门窗表面应不发尘、不霉变、不吸附污染物、易清洁

    • 4.7.6 门窗边框、副框的安装应牢固，预埋件、连接件的数

    • 4.7.7 门窗边框与墙体应连接牢固。门窗边框、副框与墙体

    • 4.7.8 洁净室门配件的型号、规格、数量应符合设计要求，

  • Ⅱ 一般项目

    • 4.7.9 门窗表面应色泽一致，并应无锈蚀、无划痕和碰伤。

    • 4.7.10 门扇应安装牢固，并应开关灵活、关闭严密。  

    • 4.7.11 门窗安装的允许偏差和检验方法应符合表4.7.

5 净化空调系统

• 5.1 一般规定

  • 5.1.1 洁净厂房净化空调系统的施工、验收除应符合本规范

  • 5.1.2 净化空调系统施工中使用的材料、附件和设备应符合

  • 5.1.3 施工中所使用的材料、附件和设备应具有产品出厂合

  • 5.1.4 净化空调系统施工中的隐蔽工程应经验收和做好记录

  • 5.1.5 净化空调系统的调试和试运转应在洁净室(区)建筑

• 5.2 风管及部件

  • 5.2.1 风管、附件的制作、质量验收还应符合现行国家标准

  • 5.2.2 风管、附件制作质量的验收应按工程设计图纸与本规

  • Ⅰ 主控项目

    • 5.2.3 净化空调系统风管的材质应按工程设计文件的要求选

    • 5.2.4 净化空调系统的风管制作应符合下列规定：    

    • 5.2.5 风管现场制作、清洗和存放应符合下列规定：   

    • 5.2.6 风管清洗后，应以漏光法进行风管制作质量检查。漏

    • 5.2.7 风管应通过强度和严密性试验，应符合设计要求，并

    • 5.2.8 静压箱的制作应符合下列规定：     1 静压

    • 5.2.9 净化空调系统的各类风阀，其活动件、固定件以及紧

  • Ⅱ 一般项目

    • 5.2.10 金属风管的制作应符合下列规定：     1

    • 5.2.11 矩形风管边长大于或等于800mm或管段长度大

    • 5.2.12 净化空调系统应设测试孔和清洁检查门。检查门内

    • 5.2.13 柔性短管应符合下列规定：     1 应选用

• 5.3 风管系统安装

  • 5.3.1 净化空调系统风管的安装，应在其安装部位的地面已

  • 5.3.2 风管系统安装后，应进行系统的严密性试验，并应经

  • Ⅰ 主控项目

    • 5.3.3 风管系统的支、吊架应与建筑围护结构牢固连接，当

    • 5.3.4 净化空调系统风管及其附件的安装应符合下列规定：

    • 5.3.5 洁净室(区)内风口安装应符合下列规定：    

    • 5.3.6 风管安装后的严密性试验应符合工程设计要求，并应

    • 5.3.7 风管部件、阀门的安装应符合现行国家标准《通风与

    • 5.3.8 净化空调系统的风管均应绝热、保温，并应符合下列

  • Ⅱ 一般项目

    • 5.3.9 风管的连接、安装偏差以及支、吊架的安装等应符合

    • 5.3.10 净化空调系统经清洗、密封的风管、附件安装时，

    • 5.3.11 风管绝热保温层外表面应平整、密封、无松弛现象

• 5.4 净化空调设备安装

  • 5.4.1 净化空调设备应有齐全的随机文件，应包括装箱清单

  • 5.4.2 设备安装前，应在建设单位和有关方的参加下进行开

  • Ⅰ 主控项目

    • 5.4.3 设备的搬运、就位应符合下列规定：     1

    • 5.4.4 高效空气过滤器安装前应具备下列条件：     

    • 5.4.5 高效空气过滤器的安装应符合下列规定：     

    • 5.4.6 风机过滤器机组(FFU)的安装应符合下列规定：

    • 5.4.7 洁净层流罩的安装应符合下列规定：     1

    • 5.4.8 净化空调系统空气处理机组的组装安装应符合下列规

    • 5.4.9 净化空调系统中电加热器的安装应符合下列规定：

  • Ⅱ 一般项目

    • 5.4.10 空气吹淋室的安装应符合下列规定：     1

    • 5.4.11 机械式余压阀的安装应符合下列规定：     

    • 5.4.12 干表冷器的安装应符合下列规定：     1

    • 5.4.13 集中式真空吸尘系统的安装应符合下列规定：  

• 5.5 系统调试

  • 5.5.1 净化空调系统的调试应包括单机试车和系统联动试运

  • 5.5.2 系统调试所使用的仪器仪表的性能、精度应满足测试

  • 5.5.3 净化空调系统的联动试运转和调试前应具备下列条件

  • 5.5.4 净化空调系统的带冷、热源的稳定联动试运转和调试

  • 5.5.5 净化空调系统带冷、热源联动试运转应在空态下进行。

  • Ⅰ 主控项目

    • 5.5.6 净化空调系统各种设备的单机试运转应符合现行国家

    • 5.5.7 单向流洁净室的风量、风速的调试结果应符合下列规

    • 5.5.8 非单向流洁净室的送风量测试结果应为设计风量的±

    • 5.5.9 新风量测试结果不得小于设计值，且不得超过设计值

    • 5.5.10 洁净室(区)内的温度、相对湿度测定结果应符合

    • 5.5.11 洁净室(区)与相邻房间和室外的静压差测试结果

  • Ⅱ 一般项目

    • 5.5.12 洁净室内的气流流型的测试应确认单向流、非单向

    • 5.5.13 洁净室内的气流方向测试应确认气流方向及其均匀

    • 5.5.14 净化空调系统的控制系统及其检测、监控、调节元

6 排风及废气处理

• 6.1 一般规定

  • 6.1.1 排风、排风系统的材料、附件和设备应符合工程设计

  • 6.1.2 施工中所使用的材料、附件和设备应具有产品出厂合

  • 6.1.3 洁净厂房中排风系统施工中的隐蔽工程，应经验收和

  • 6.1.4 排风系统应按管内排风类型及其介质种类、不同浓度

  • 6.1.5 排风系统的调试和试运转应与洁净厂房内的净化空调

• 6.2 风管、附件

  • 6.2.1 风管、附件的制作质量应符合设计图纸和本规范的规

  • Ⅰ 主控项目

    • 6.2.2 风管、附件的材质应按工程设计要求选择，工程设计

    • 6.2.3 排风管道采用金属管道时，其材料品种、规格、性能

    • 6.2.4 排风管道采用非金属风管时，其材料品种、规格、性

    • 6.2.5 洁净厂房中排风管道的制作应符合下列规定：   

    • 6.2.6 风管进行内外表面清洁后，应以漏光法进行风管制作

    • 6.2.7 排风风管的强度试验压力应低于工作压力500Pa

    • 6.2.8 排风系统的风阀、排风罩等部件应按工程设计或产品

    • 6.2.9 防爆、可燃、有毒排风系统的风阀制作材料必须符合

    • 6.2.10 防排烟阀、柔性短管应符合下列规定：     

  • Ⅱ 一般项目

    • 6.2.11 排风风管、风阀、风罩等的制作质量、允许偏差、

    • 6.2.12 排风系统宜设检查孔或观察窗，必要时应设测试取

• 6.3 排风系统安装

  • 6.3.1 排风系统风管干管、支干管的安装宜与净化空调系统

  • 6.3.2 排风系统的支(吊)架应进行防腐处理，并应与建筑

  • Ⅰ 主控项目

    • 6.3.3 排风系统全部安装完成后，应分系统进行严密性试验

    • 6.3.4 排风风管穿过防火、防爆的墙体、顶棚或楼板时，应

    • 6.3.5 排风风管安装应符合下列规定：    1 输送含

    • 6.3.6 排风风管内气体温度高于80℃时，应按工程设计要

    • 6.3.7 风管部件、阀门的安装应符合现行国家标准《通风与

    • 6.3.8 风管安装后的严密性试验应符合工程设计要求，当无

  • Ⅱ 一般项目

    • 6.3.9 排风风管的安装、风管的连接和支、吊架的安装等应

    • 6.3.10 除尘系统的风管及阀门的安装应符合设计要求。风

    • 6.3.11 输送含有凝结水或其他液体的排风风管宜按大于5

    • 6.3.12 接至生产工艺设备的排风管、排风罩应按设计要求

    • 6.3.13 排风风管穿越屋面或外墙处应做好防水处理，不得

• 6.4 废气处理设备安装

  • 6.4.1 排风处理设备应具有齐全的设备本体和净化材料、附

  • 6.4.2 设备安装前，应进行开箱检查，并应做好开箱及其验

  • 6.4.3 设备的搬运、吊装应符合下列规定：     1

  • Ⅰ 主控项目

    • 6.4.4 设备就位前应对基础进行验收，并应合格后再安装。

    • 6.4.5 吸附式废气处理设备的安装应符合下列规定：   

    • 6.4.6 湿法废气处理设备的安装应符合下列规定：    

    • 6.4.7 除尘器的安装应符合下列规定：     1 型号

    • 6.4.8 转轮式废气处理设备的安装应符合下列规定：   

  • Ⅱ 一般项目

    • 6.4.9 吸附式废气处理设备的安装还应符合下列规定：  

    • 6.4.10 湿法废气处理装置的安装还应符合下列规定：  

• 6.5 系统调试

  • 6.5.1 排风与废气处理系统的试运转和调试应包括设备单机

  • 6.5.2 排风系统的联动试运转和调试前应具备下列条件：

  • 6.5.3 排风系统的联动试运转和调试应达到工程设计的风量

  • Ⅰ 主控项目

    • 6.5.4 排风系统调试前，施工方应编制试运转和调试方案。

    • 6.5.5 设备单机试运转和调试应符合下列规定：     

    • 6.5.6 排风系统的联动试运转和调试应符合下列规定：  

    • 6.5.7 防排烟系统联合试运转与调试应符合现行国家标准《

  • Ⅱ 一般项目

    • 6.5.8 排风与废气处理系统试运转和调试的初始压力降、噪

    • 6.5.9 排风系统的联动试运转和调试还应符合下列规定：

7 配管工程

• 7.1 一般规定

  • 7.1.1 本章适用于洁净厂房内设计压力不大于1MPa，设

  • 7.1.2 管道的施工安装应符合下列规定：     1 与

  • 7.1.3 阀门安装前，应对下列管道的阀门逐个进行压力试验

  • 7.1.4 除本规范第7.1.3条规定范围外的各类流体管道

  • 7.1.5 管道穿越洁净室(区)墙体、吊顶、楼板和特殊构造

  • 7.1.6 安装于洁净室(区)的管道，支、吊架材料应采用不

  • 7.1.7 配管上的阀门、法兰、焊缝和各种连接件的设置应便

  • 7.1.8 有静电接地要求的管道，各段管子间应导电，当管道

• 7.2 碳素钢管道安装

  • 7.2.1 管道预制宜按工程设计图、管道系统单线图进行，并

  • Ⅰ 主控项目

    • 7.2.2 预制完毕的管段应按输送物料种类、设计图纸要求将

    • 7.2.3 管子切割，管子公称直径小于或等于100mm时，

    • 7.2.4 弯管制作、管道安装的焊缝位置和坡口应符合现行国

    • 7.2.5 管道安装应符合下列规定：     1 管道连接

  • Ⅱ 一般项目

    • 7.2.6 碳素钢管的连接应符合设计要求。设计无要求时，无

    • 7.2.7 管道安装用垫片应符合下列规定：     1 当

    • 7.2.8 管道安装的允许偏差应符合下列规定：     1

    • 7.2.9 管道系统的阀门、补偿器和支吊架的安装，应符合现

• 7.3 不锈钢管道安装

  • 7.3.1 管道安装作业不连续时，应采用洁净物品对所有的管

  • Ⅰ 主控项目

    • 7.3.2 管材切割宜采用机械割管刀或不锈钢带锯或等离子法

    • 7.3.3 不锈钢管的焊接，应符合下列规定：     1

    • 7.3.4 不锈钢管道采用法兰连接时，法兰紧固螺栓应采用不

    • 7.3.5 不锈钢管不得直接与碳素钢支架、管卡接触，应以塑

  • Ⅱ 一般项目

    • 7.3.6 管材、管件、阀门内、外表面不得有明显划痕或锈斑

    • 7.3.7 管道分支宜采用三通连接，干管与支管相差2个管径

• 7.4 BA／EP不锈钢管道安装

  • 7.4.1 BA／EP不锈钢管的预制、安装作业应在洁净工作

  • 7.4.2 管子、管件和阀门在预制、安装前、后或停顿工作时

  • Ⅰ 主控项目

    • 7.4.3 管子切割，直径等于或小于10mm时，宜采用割管

    • 7.4.4 管道连接宜采用卡套连接、法兰连接或焊接。采用焊

    • 7.4.5 管材、管件、阀门组对时，应做到内、外壁平整，对

    • 7.4.6 BA／EP管道的点焊应采用手工氩弧焊。点焊前应

  • Ⅱ 一般项目

    • 7.4.7 BA／EP管及管件、阀门的内、外表面应无尘、无

    • 7.4.8 每焊接完成一个焊口，应采用不锈钢利及时清除表面

    • 7.4.9 BA／EP管道连接用垫片的材质应符合设计要求或

    • 7.4.10 BA／EP管道安装应按工程设计图顺气流方向依

• 7.5 PP／PE管道安装

  • 7.5.1 洁净厂房内PP／PE管道应采用热熔焊接法施工。

  • 7.5.2 施工中所采用的管材、附件、焊接材料等应已验收合

  • 7.5.3 焊接加工或施工现场应保持清洁。焊接作业人员应经

  • 7.5.4 管道焊接的热熔接机应根据管道直径采用相应型号、

  • Ⅰ 主控项目

    • 7.5.5 管子切割宜采用专用割刀。切口端面倾斜偏差不得大

    • 7.5.6 管子热熔焊接应符合下列规定：     1 对接

    • 7.5.7 管子热熔焊缝不得低于管子表面，宜高于管子表面2

  • Ⅱ 一般项目

    • 7.5.8 管子焊接切口表面应平整、无毛刺；焊缝卷边应一致

    • 7.5.9 管子热熔焊时的切换时间应根据管子尺寸确定，管外

    • 7.5.10 管子热熔焊时的加热温度应根据材质、管壁厚度等

    • 7.5.11 管道安装时，应根据输送介质参数设置支、吊架，

    • 7.5.12 PE／PP管道安装后应根据用途进行试验，并应

• 7.6 PVDF管道安装

  • 7.6.1 洁净厂房内PVDF管道应采用热焊接法施工。

  • 7.6.2 施工中所采用的管材、附件等均应已验收合格，并应

  • 7.6.3 焊接加工应在洁净工作小室内进行，加工完后应在现

  • 7.6.4 PVDF管道施工作业人员应经培训合格后上岗，在

  • 7.6.5 管道焊接应采用自动或半自动热焊机，并应按管壁厚

  • 7.6.6 管材、附件应密封包装，在未进行焊接加工或现场组

  • Ⅰ 主控项目

    • 7.6.7 施工现场应核查管材、管件、阀门的外观、规格尺寸

    • 7.6.8 管子切割应采用专用割刀，切口端面应平整，并应无

    • 7.6.9 管子热焊接应符合下列规定：     1 管子组

    • 7.6.10 管子热焊接的焊缝应为均匀的双重焊道，双重焊道

    • 7.6.11 管道安装后，应按下列规定进行强度试验、严密性

  • Ⅱ 一般项目

    • 7.6.12 管子热焊时的熔融时间应根据管子尺寸确定，管径

    • 7.6.13 管道在焊接加工后，在现场安装时宜采用法兰连接

    • 7.6.14 管道安装时应根据输送介质参数设置支架，并应符

• 7.7 PVC管道安装

  • 7.7.1 洁净厂房内PVC管道应采用粘接法施工。

  • 7.7.2 施工中采用的管材、附件应为同一厂家产品，并应符

  • 7.7.3 管道粘接作业场所严禁烟火；通风应良好，集中作业

  • 7.7.4 PVC管材装卸、运输和堆放过程，不得抛投或激烈

  • Ⅰ 主控项目

    • 7.7.5 PVC管道的粘接应符合下列规定：     1

    • 7.7.6 管材的内外表面应光滑，并应无气泡、裂纹，管壁厚

    • 7.7.7 洁净室内PVC管道的安装应符合下列规定：   

  • Ⅱ 一般项目

    • 7.7.8 管道安装时，应根据输送介质及其参数设置支、吊架

    • 7.7.9 管道安装后，应根据用途进行试验，并应符合下列规

• 7.8 配管检验和试验

  • 7.8.1 配管工程的检验和试验应在自检合格的基础上进行，

  • 7.8.2 洁净厂房内各类金属管道的焊缝检验应符合下列规定

  • 7.8.3 各类金属管道系统安装完毕，无损检验合格后，应按

  • 7.8.4 洁净厂房中输送剧毒液体、有毒液体，可燃液体和高

  • 7.8.5 洁净厂房中，真空管道的试验应符合下列规定：  

  • 7.8.6 管道在进行试验、检验合格后，应根据设计要求对管

8 消防、安全设施安装

• 8.1 一般规定

  • 8.1.1 消防、安全设施的安装施工单位应具有规定的资质和

  • 8.1.2 消防、安全设施的安装施工应符合下列规定：   

• 8.2 管线安装

  • 8.2.1 洁净厂房中的消防给水管道应安装在技术夹层内，接

  • 8.2.2 消防安全设施的电气线路应符合工程设计文件要求。

  • Ⅰ 主控项目

    • 8.2.3 穿越洁净室(区)的墙体、顶棚的消防给水管、自动

    • 8.2.4 洁净室(区)采用高灵敏度早期报警装置的采样管道

    • 8.2.5 消防、安全设施的各类火灾报警装置、气体报警装置

  • Ⅱ 一般项目

    • 8.2.6 消防安全设施的管线、喷头短管等敷设时均应可靠固

    • 8.2.7 高灵敏度早期报警装置的采样管的安装还应符合下列

• 8.3 消防、安全设备安装

  • 8.3.1 消防安全设备的安装和安装位置、数量应按工程设计

  • 8.3.2 高灵敏度早期报警装置等火警报警装置的试验、试运

  • 8.3.3 消防安全设施联动试运转应符合下列规定：    

  • Ⅰ 主控项目

    • 8.3.4 洁净室(区)内的消火栓安装应符合下列规定：  

    • 8.3.5 高灵敏度早期烟雾探测装置的安装应符合下列规定：

    • 8.3.6 洁净室(区)内的火灾探测器的安装应符合下列规定

    • 8.3.7 洁净室(区)内的气体报警探测器的安装应符合下列

  • Ⅱ 一般项目

    • 8.3.8 洁净厂房内的二氧化碳灭火装置的安装应符合下列规

    • 8.3.9 洁净室(区)内的火警手动按钮的安装应符合下列规

9 电气设施安装

• 9.1 一般规定

  • 9.1.1 电气装置的施工安装应符合下列规定：     1

  • 9.1.2 洁净室(区)内的电气装置和线管、线槽、桥架等宜

  • 9.1.3 电气装置安装工程的验收应符合下列规定：    

• 9.2 电气线路安装

  • 9.2.1 电气线路、线管、线槽、桥架的位置、规格应符合设

  • 9.2.2 电线管、电缆管、线槽、桥架的接地装置的施工及验

  • Ⅰ 主控项目

    • 9.2.3 电气线路的线管、线槽、桥架穿越洁净室(区)的墙

    • 9.2.4 安装在洁净室(区)装饰板内的电线、电缆宜采用穿

    • 9.2.5 电线、电缆穿管敷设时，穿管内不得设有接头，所有

  • Ⅱ 一般项目

    • 9.2.6 电气配线采用三相五线制或单相三线制时，其绝缘导

    • 9.2.7 洁净室(区)内的配电盘(柜)、接线盒的配线施工

• 9.3 电气设备安装

  • 9.3.1 配电盘(柜)、接线盒、插座箱和照明灯具等的位置

  • 9.3.2 电气设备的安装还应符合现行国家标准《建筑电气工

  • 9.3.3 洁净室(区)内配电盘(柜)、接线盒、插座箱和照

  • Ⅰ 主控项目

    • 9.3.4 洁净室(区)内配电盘(柜)的安装应符合下列规定

    • 9.3.5 洁净室(区)内嵌入式安装的接线盒、插座箱与墙体

    • 9.3.6 照明灯具、开关的安装应符合下列规定：     

  • Ⅱ 一般项目

    • 9.3.7 洁净室(区)内的配电盘(柜)内的配线应做到横平

    • 9.3.8 洁净室(区)内的接线盒、插座箱的安装应端正，并

• 9.4 防雷及接地设施安装

  • 9.4.1 防雷设施的安装和接地体、接地线的位置、规格应符

  • 9.4.2 接地体与接地线或接地线与相关设备、插座的连接宜

  • 9.4.3 接地设施的安装还应符合现行国家标准《电气装置安

  • Ⅰ 主控项目

    • 9.4.4 接地体的施工安装应符合下列规定：     1

    • 9.4.5 接地线的施工安装应符合下列规定：     1

  • Ⅱ 一般项目

    • 9.4.6 接地体的施工安装还应符合下列规定：     1

    • 9.4.7 接地线的施工安装还应符合下列规定：     1

10 微振控制设施施工

• 10.1 一般规定

  • 10.1.1 微振控制设施应与洁净厂房主体结构、动力公用工

  • 10.1.2 微振控制设施的施工应根据具体工程项目特点，并

• 10.2 微振控制设施施工

  • Ⅰ 主控项目

    • 10.2.1 洁净厂房的微振控制设施的施工应按下列阶段进行

    • 10.2.2 隔振台、隔振装置、隔振器等的施工安装应符合工

    • 10.2.3 隔振装置施工安装时，应核对空气弹簧隔振器、阻

    • 10.2.4 安装隔振器的地面、台板等应平整、清洁；各组(

    • 10.2.5 隔振设施安装时应调整被隔振体高度达到规定值。

  • Ⅱ 一般项目

    • 10.2.6 隔振台的台板表面应平整、清洁，台板水平度误差

    • 10.2.7 隔振所用的支、吊架，其结构形式、尺寸应符合设

    • 10.2.8 地板或楼板整体式隔振系统，支承结构、地板或楼

11 噪声控制设施安装

• 11.1 一般规定

  • 11.1.1 噪声控制设施宜与建筑装饰、净化空调系统、排风

  • Ⅰ 主控项目

• 11.2 噪声控制设施安装

  • Ⅰ 主控项目

    • 11.2.1 消声器、隔声罩等噪声控制设备安装前，应按工程

    • 11.2.2 消声器的安装应符合下列规定：     1 安

    • 11.2.3 隔声罩、隔声室的安装应符合下列规定：    

    • 11.2.4 洁净厂房内吸声设施的施工安装应符合下列规定：

  • Ⅱ 一般项目

    • 11.2.5 消声器的安装还应符合下列规定：     1

    • 11.2.6 隔声罩、隔声室的安装应符合下列规定：    

    • 11.2.7 洁净厂房内吸声设施的施工安装应符合下列规定：

12 特种设施安装

• 12.1 一般规定

  • 12.1.1 本章适用于洁净厂房内的高纯气体供应设施、纯水

  • 12.1.2 特种设施的安装施工应符合下列规定：     

  • 12.1.3 对气密性、渗漏性控制严格的特种设施的设备、附

  • 12.1.4 特种设施的承压设备、附件应具有压力试验、无损

  • 12.1.5 有爆炸危险或有毒的气体、液体、有机溶剂等相关

  • 12.1.6 分类、分系统进行安装质量验收，宜与相关系统的

  • 12.1.7 有防静电接地要求的设施，应在安装就位或系统管

• 12.2 高纯气体、特种气体供应设施安装

  • 12.2.1 高纯气体、特种气体管道及其阀门、附件等的材质

  • 12.2.2 管路系统的试运转应包括管路吹扫、气密性、泄漏

  • Ⅰ 主控项目

    • 12.2.3 高纯气体、特种气体供应设施安装前，应按工程设

    • 12.2.4 纯化设备、特气柜的搬运、就位应符合下列规定：

    • 12.2.5 高纯气体、特种气体系统的阀门箱、吹扫盘的安装

    • 12.2.6 高纯气体、特种气体设施施工安装试运转的纯度测

    • 12.2.7 管路系统的试验应符合下列规定：     1

  • Ⅱ 一般项目

    • 12.2.8 管路吹扫应符合下列规定：     1 应按气

• 12.3 纯水供应设施安装

  • 12.3.1 纯水供应设施安装前，应按工程设计文件和产品说

  • 12.3.2 纯水管道及其阀门、附件的材质，应按工程设计文

  • Ⅰ 主控项目

    • 12.3.3 单体设备的搬运、就位应符合下列规定：    

    • 12.3.4 洁净室(区)内纯水末端处理设备的安装应符合下

    • 12.3.5 药品和保健品等生产用纯水系统的安装应符合下列

  • Ⅱ 一般项目

    • 12.3.6 管道系统的试验、试运转应符合下列规定：   

    • 12.3.7 管道清洗应符合下列规定：     1 管道清

• 12.4 化学品供应设施安装

  • 12.4.1 本节适用于洁净厂房中工业产品生产所需的酸、碱

  • 12.4.2 化学品供应设施安装前，应按设计文件和产品说明

  • 12.4.3 化学品供应设施中的各类泵的安装施工，应符合现

  • Ⅰ 主控项目

    • 12.4.4 洁净室(区)内化学品输送管道系统的阀门箱的安

    • 12.4.5 化学品供应设施的容器、管道及其阀门、附件的材

  • Ⅱ 一般项目

    • 12.4.6 容器的搬运、安装就位应符合下列规定：    

    • 12.4.7 化学品供应设施的低碳不锈钢管、PE管、PVD

    • 12.4.8 管道吹扫或清洗应符合下列规定：     1

    • 12.4.9 管道系统的试验、试运转应符合下列规定：   

13 生产设备安装

• 13.1 一般规定

  • 13.1.1 本章适用于与洁净厂房施工验收相关的生产工艺设

  • 13.1.2 洁净厂房中生产工艺设备除大型设备外，宜在洁净

  • 13.1.3 设备的搬运、安装过程不得有超范围的振动、倾斜

• 13.2 设备安装

  • 13.2.1 生产工艺设备安装施工条件宜符合下列规定：  

  • 13.2.2 洁净室(区)内生产设备安装施工用辅助材料应符

  • 13.2.3 洁净室(区)使用的机具不得搬至非洁净室(区)

  • 13.2.4 设备特殊基础应符合下列规定：     1 洁

  • 13.2.5 墙板、吊顶和活动地板开洞应符合下列规定：  

  • 13.2.6 拆除包装应符合下列规定：     1 设备开

  • 13.2.7 生产设备从搬入平台经搬入口、气闸室至洁净室(

  • 13.2.8 洁净室(区)内搬运生产工艺设备，宜采用搬运车

  • 13.2.9 设备就位安装应符合下列规定：     1 在

• 13.3 二次配管配线

  • 13.3.1 生产设备应在找正、调平并经检验合格后，再进行

  • 13.3.2 二次配管配线的施工安装应避免在洁净室(区)内

  • 13.3.3 二次配管完成后，不宜进行冲洗或吹洗、严密性试

14 验 收

• 14.1 一般规定

  • 14.1.1 洁净厂房工程施工完成后应进行验收，验收宜划分

  • 14.1.2 竣工验收应在分项验收合格后进行。

  • 14.1.3 性能验收应在竣工验收完成后进行，并应进行检测。

  • 14.1.4 使用验收应在性能验收完成后进行，并应进行测试。

  • 14.1.5 洁净厂房验收的检测状态应分为空态、静态和动态

• 14.2 洁净厂房的测试

  • 14.2.1 洁净厂房的验收中，在进行各项性能检测前，净化

  • 14.2.2 检测用仪器仪表均应进行标定，并应在标定有效期

  • 14.2.3 洁净厂房测试应按验收阶段分段进行。竣工验收阶

  • 14.2.4 洁净厂房性能测试项目应符合表14.2.4的要

  • 14.2.5 空气洁净度等级的检测应对粒径分布在0.1μm

  • 14.2.6 洁净厂房内应根据生产工艺要求进行浮游菌、沉降

  • 14.2.7 风量和风速的测试，对单向流洁净室的送风量应以

  • 14.2.8 压差测试，应为检验洁净室(区)与其周围环境之

  • 14.2.9 对已装空气过滤器应进行检漏；应在安装后的过滤

  • 14.2.10 气流流型和气流方向，应在风量、风速和静压差

  • 14.2.11 应在相关的净化空调系统连续、稳定运行后再进

  • 14.2.12 对于空气洁净度等级严于5级的洁净室(区)，

  • 14.2.13 洁净室(区)内的噪声测试，应在“空态”或与

  • 14.2.14 洁净室(区)的照度测试，应在室内温度稳定和

  • 14.2.15 对于非单向流洁净室，应进行自净时间的检测。

  • 14.2.16 当洁净厂房中设有需微振控制的精密设备仪器时

  • 14.2.17 洁净室(区)的地面、墙面和工作台面的表面导

  • 14.2.18 洁净厂房的每项测试均应编写测试报告，并应包

• 14.3 竣工验收

  • 14.3.1 洁净厂房的竣工验收，应在各分部单机试车，无生

  • 14.3.2 洁净厂房竣工验收时，应检查竣工验收的下列文件

  • 14.3.3 洁净厂房内各分部工程的观感质量核查应符合本规

  • 14.3.4 各分部工程的各类设备单机试车的核查应符合本规

  • 14.3.5 各分部工程的各类系统的单机试车核查合格后，应

  • 14.3.6 洁净厂房竣工验收的主要测试内容应包括下列测试

  • 14.3.7 洁净厂房竣工验收后，应由施工方编写竣工验收报

• 14.4 性能验收

  • 14.4.1 洁净厂房的性能验收应经过规定的检测和调试，确

  • 14.4.2 洁净厂房竣工验收合格，并经核实批准后，应按设

  • 14.4.3 洁净厂房的性能验收后，应编写验收报告，应包括

• 14.5 使用验收

  • 14.5.1 洁净厂房的使用验收应在设计规定的使用状态下进

  • 14.5.2 使用验收的主要检测内容应包括下列测试：   

  • 14.5.3 洁净厂房使用验收后，应编写使用验收报告，应包

附录A 洁净厂房主要施工程序

• A.0.1 洁净厂房的施工安装内容主要应包括建筑装饰、净化

• A.0.2 洁净厂房的施工安装程序中，应根据具体工程情况、

• A.0.3 洁净厂房施工安装时，各专业、多工种应密切配合，

附录B 测试项目的选择和实施顺序

• B.0.1 性能测试项目和顺序的选择，应根据具体工程的规模

附录C 测试方法

• C.1 空气洁净度等级测试

  • C.1.1 空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器，采样量应

  • C.1.2 采样点的确定应符合下列规定：     1 最少

  • C.1.3 每次采样的最少采样量应符合下列规定：     

  • C.1.4 对于单向流洁净室，采样口应对着气流方向，对于非

  • C.1.5 室内测试人员应穿洁净服，不得超过3人，测试人员

  • C.1.6 每个采样次数为2次或2次以上的采样点，应按下式

  • C.1.7 采样点为1个时，应按本规范式(C.1.6)计算

  • C.1.8 置信上限(UCL)的计算应符合下列规定：   

• C.2 风速和风量测试

  • C.2.1 风速测试仪器可使用热球式风速计、超声风速计、叶

  • C.2.2 单向流设施的截面风速、面风速和风量测试应符合下

  • C.2.3 非单向流设施的风速、风量的测试应符合下列规定：

• C.3 静压差的测试

  • C.3.1 静压差的测试可采用电子压差计、斜管微压计或机械

  • C.3.2 在进行静压差检测前，应确定洁净室送、排风量均符

  • C.3.3 静压差测试时应关闭洁净区内所有的门，并应从洁净

• C.4 已装空气过滤器的检漏

  • C.4.1 对已安装的高效空气过滤器应进行检漏，应检测高效

  • C.4.2 高效空气过滤器安装后的检漏方法应采用光度计法和

  • C.4.3 采用光度计法进行扫描检漏时，被测试的过滤器的最

  • C.4.4 采用粒子计数器法进行扫描检漏时，被测试的空气过

  • C.4.5 安装在管道或空气处理机内的高效空气过滤器的检漏

• C.5 气流流型的检测

  • C.5.1 气流流型的检测应包括气流目测和气流流向的测试。

  • C.5.2 采用示踪线法时可采用尼龙单丝线、棉线、薄膜带等

  • C.5.3 采用发烟(雾)法时，可采用去离子水，并应用固态

  • C.5.4 应用图像处理技术进行气流目测时，应采用本规范第

  • C.5.5 采用三维法测量气流速度时，检测点应选择在关键工

• C.6 温度的检测

  • C.6.1 温度测试应确认空气处理设施的温度控制能力。洁净

  • C.6.2 温度测试可采用玻璃温度计、电阻温度检测装置、数

  • C.6.3 温度测试应在洁净室(区)气流均匀性测试完成后进

  • C.6.4 一般温度测试的测点，每个温度控制区或每个房间应

  • C.6.5 功能温度测试，应将洁净工作区划分为等面积的栅格

• C.7 相对湿度的检测

  • C.7.1 相对湿度测试应确认空气处理设施的湿度控制能力。

  • C.7.2 相对湿度测试可采用通风干湿球温度计、数字式温湿

  • C.7.3 相对湿度测试的测点，测试时间、频度与温度检测的

• C.8 密闭性测试

  • C.8.1 本节适用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室(区

  • C.8.2 采用粒子计数器法时，测量被评价表面的洁净室(区

  • C.8.3 采用光度计法，测量洁净室(区)内侧被评价表面的

• C.9 噪声测试

  • C.9.1 噪声测试宜采用倍频程噪声分析仪，宜检测A声压级

  • C.9.2 噪声测试点应在工作面高度进行，宜为距地面1.2

• C.10 照度测试

  • C.10.1 照度测试宜采用便携式数字照度计。

  • C.10.2 洁净室(区)照度的检测应在室内温度稳定和光源

  • C.10.3 洁净室(区)照度的检测应测试一般照明，不应包

  • C.10.4 照度测试点应选择在工作面高度进行，宜为0.8

• C.11 自净时间

  • C.11.1 洁净室的自净时间检测可用于非单向流洁净室，宜

  • C.11.2 自净时间检测应首先测量洁净室内靠近回风口处稳

  • C.11.3 计算自净时间可由初始浓度(N0)、室内达到稳

  • C.11.4 洁净室的自净性能还可采用粒子浓度变化率评估，

• C.12 超微粒子的测试

  • C.12.1 对洁净室(区)内粒径小于0.1μm的超微粒子

  • C.12.2 超微粒子的测试，宜采用凝聚核粒子计数器进行；

• C.13 大粒子的测试

  • C.13.1 对洁净室(区)内粒径大于5μm的大粒子的测试

  • C.13.2 大粒子的测试，宜采用过滤法、粒子计数器计数法

• C.14 微振测试

  • C.14.1 洁净厂房中需要微振控制的精密设备仪器或房间(

  • C.14.2 微振测试应按下列规定分阶段进行：     1

• C.15 静电测试

  • C.15.1 洁净室(区)内的地面、墙面和工作台面等的表面

  • C.15.2 在相关表面的导静电测试表面上采用图C.15.

• C.16 浮游菌、沉降菌的检测

  • C.16.1 根据生产工艺要求需要控制洁净室(区)内的微生

  • C.16.2 浮游菌的测试方法应采用采样器采集在空气中的活

  • C.16.3 沉降菌的测试方法应采用培养皿收集到的活微生物

  • C.16.4 根据生产工艺要求需要控制洁净室(区)内的微生

附录D 工程质量验收记录用表

• D.0.1 金属风管质量验收记录应符合表D.0.1的要求。

• D.0.2 非金属、复合材料风管的质量验收记录应符合表D.

• D.0.3 净化空调系统风管安装检验批质量验收应符合表D.

• D.0.4 空气净化设备安装检验批质量验收应符合表D.0.

• D.0.5 配管工程检验记录应符合表D.0.5-1～表D.