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1 总 则
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1.0.1 为在薄膜晶体管液晶显示器工厂设计中贯彻执行国家
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1.0.2 本规范适用于新建、改建、扩建薄膜晶体管液晶显示
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1.0.3 薄膜晶体管液晶显示器工厂设计除应符合本规范外,
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2 术 语
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2.0.1 薄膜晶体管液晶显示器 thin film tr
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2.0.2 全自动物料搬送系统 automated mat
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2.0.3 玻璃基板 glass substrate
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2.0.4 阵列 array 在玻璃基板上通过成膜
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2.0.5 彩膜 color filter(CF)
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2.0.6 成盒 cell 将已制备好的薄膜晶体管
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2.0.7 空间管理 space management
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2.0.8 干法刻蚀 dry etching proces
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2.0.9 等离子体增强化学气相沉积 plasma enh
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3 基本规定
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3.0.1 薄膜晶体管液晶显示器工厂设计应合理利用资源,保
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3.0.2 薄膜晶体管液晶显示器工厂设计应符合下列规定:
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3.0.3 薄膜晶体管液晶显示器生产线的设计能力应符合经济
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4 工 艺
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4.1 一般规定
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4.1.1 工艺设计应符合下列规定: 1 应确保生
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4.1.2 工艺设计中所确定的生产空间及其布置、生产环境参
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4.1.3 与生产工艺直接相关的生产部门宜采用连续运转的生
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4.2 基本工序
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4.2.1 生产加工工序可按本规范附录A所列各段工序内容和
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4.2.2 生产的主要工序应完整、配套,阵列、彩膜和成盒工
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4.2.3 工厂中应设置与主生产工艺有关的辅助生产和有关技
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4.3 工艺区划
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4.3.1 阵列、彩膜和成盒工艺段核心生产区域的工艺区划应
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4.3.2 生产区设置参观设施时,参观区域及其通道的环境应
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4.3.3 工厂中应设有原、辅材料和废料仓储设施,库房设置
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4.3.4 核心生产区域设有技术夹层时,应在技术夹层设置设
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4.4 设备配置
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4.4.1 生产设备和辅助设备的选择应符合现行国家标准《电
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4.4.2 阵列、彩膜和成盒工序应采用玻璃基板卡匣或其他专
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4.4.3 化学气相沉积和物理气相沉积设备安装区域应配置洁
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5 厂址选择及总体规划
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5.1 厂址选择
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5.1.1 厂址选择应符合工业布局和地区建设规划的要求,应
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5.1.2 厂址选择应符合下列规定: 1 应避免生
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5.1.3 厂址应具有满足生产生活及发展规划所必需的水源、
-
5.1.4 厂址选择应满足企业远期发展规划的需要。
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5.1.5 工程地质、水文复杂的地带和抗震设防烈度高于8度
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5.1.6 薄膜晶体管液晶显示器工厂应按现行国家标准《防洪
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5.2 总体规划
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5.2.1 工厂的总体规划应符合所在地区的规划要求,并应有
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5.2.2 工厂的总平面布置应符合下列规定: 1
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5.2.3 改建、扩建的薄膜晶体管液晶显示器工厂总平面设计
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5.2.4 对于有微振控制要求的厂房,应实际测量周围现有振
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5.2.5 储存易燃、易爆、有毒物品的库房、储罐、堆场宜布
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5.2.6 储存易燃、易爆、有毒物品的库房、储罐、堆场与建
-
5.2.7 厂区的竖向设计宜充分利用原有地形,减少土石方。
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5.2.8 厂区给水、排水、循环水及电缆等管线宜选用地下敷
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-
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6 建 筑
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6.1 一般规定
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6.1.1 厂房的建筑平面和空间布局应适应产品生产发展的灵
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6.1.2 薄膜晶体管液晶显示器工厂生产厂房、办公楼、动力
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6.1.3 厂房洁净生产区内不宜设置变形缝。
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6.1.4 生产厂房围护结构材料的选择应满足生产对环境的气
-
6.1.5 厂房围护结构传热系数限值应符合现行国家标准《电
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6.1.6 厂房应根据工艺及动力设备需要设置设备搬入口及设
-
6.1.7 厂房内应设置工艺设备、动力设备的搬入及运输安装
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6.1.8 洁净区内位于搬运通道的高架地板应满足设备搬运荷
-
6.1.9 厂房室内装修应符合现行国家标准《建筑内部装修设
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6.2 防火及安全疏散
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6.2.1 薄膜晶体管液晶显示器工厂厂房的耐火等级不应低于
-
6.2.2 厂房各工作间生产的火灾危险性分类应符合现行国家
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6.2.3 厂房内防火分区的划分应符合现行国家标准《建筑设
-
6.2.4 厂房安全出口的设置应符合下列规定: 1
-
6.2.5 当洁净厂房的洁净区各层靠外墙布置时,应设可供消
-
6.2.6 穿过不同生产楼层的自动化垂直搬运系统除物料进、
-
6.2.7 易燃、易爆化学品及气体的配送间应靠外墙布置,房
-
6.2.8 易燃、易爆化学品储存间、配送间应采用不发生火花
-
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7 结 构
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7.1 一般规定
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7.1.1 阵列、彩膜、成盒厂房的建筑工程抗震设防类别宜采
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7.1.2 阵列、彩膜、成盒厂房工艺楼层梁的间距或无梁楼盖
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7.1.3 阵列、彩膜、成盒厂房结构设计应满足工艺设备的微
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7.1.4 厂房上部结构与基础之间不应设置橡胶隔震支座。
-
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7.2 厂房结构设计
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7.2.1 厂房的结构宜采用钢筋混凝土结构或钢-混凝土混合
-
7.2.2 生产厂房核心区结构与周边的支持区、办公区结构之
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7.2.3 核心区的楼层结构与支承屋面的主体结构间不宜设置
-
7.2.4 厂房的屋盖系统根据其开间和跨度大小可采用下列结
-
7.2.5 生产厂房核心区不应设置伸缩缝时,应采取措施减少
-
7.2.6 当工艺生产采用叠层布置时,框架结构宜设置柱间支
-
7.2.7 楼层使用荷载标准值应根据设备的布置、重量和基座
-
7.2.8 楼板及屋盖的吊挂荷载应根据吊挂层的做法、管道及
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7.2.9 厂房结构整体抗震计算中,建筑的重力荷载代表值宜
-
7.2.10 厂房结构计算应根据设备的实际布置范围、运输安
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7.2.11 生产厂房结构整体计算时,应采用楼层框架梁的实
-
7.2.12 生产厂房核心区楼层的钢筋混凝土梁不宜采用预应
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7.2.13 核心区的厂房结构采用钢筋混凝土结构时,钢筋混
-
7.2.14 工艺生产楼层的钢筋混凝土梁或钢梁梁顶的平整度
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7.2.15 厂房内的参观走道宜采用钢结构。
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7.2.16 设备的基础不应跨越伸缩缝。
-
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7.3 微振动控制标准
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7.3.1 有微振控制要求的工艺设备应由制造厂商提供设备台
-
7.3.2 有微振控制要求的工艺设备的支承面振动值应在相应
-
7.3.3 曝光机、涂布机等工艺设备应满足生产厂商对设备支
-
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7.4 微振动控制设计及测试
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7.4.1 微振动控制设计应包括下列因素: 1 厂
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7.4.2 同一个工艺生产楼层中,垂直方向可按不同设备的微
-
7.4.3 核心区楼层结构应采用小柱距的布置方案,VC-C
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7.4.4 首层地板应采用钢筋混凝土结构,厚度不宜小于40
-
7.4.5 微振动控制在工程建设中应按下列步骤进行微振动测
-
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7.5 基座平台设计
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7.5.1 有微振控制要求的设备基座平台应根据工艺楼层的微
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7.5.2 基座平台的钢筋混凝土部分厚度不宜小于200mm。
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7.5.3 基座平台的结构部分与周边的架空地板及其支承钢梁
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7.5.4 基座平台的基本频率应避开其下支承结构的基本频率。
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-
-
8 气体动力
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8.1 冷、热 源
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8.1.1 工厂人工冷、热源宜采用集中设置的冷(热)水机组
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8.1.2 在同时需要供冷和供热的工况下,冷水机组宜根据负
-
8.1.3 冷、热源设备台数和单台容量应根据全年冷、热负荷
-
8.1.4 过渡季节或冬季需用一定量的供冷负荷时,宜利用冷
-
8.1.5 冷水机组的冷冻水供、回水温差宜为7℃,在满足工
-
8.1.6 当冷负荷变化较大时,冷源系统的部分或全部设备宜
-
8.1.7 冷水机组的能效比不应低于现行国家标准《冷水机组
-
8.1.8 电动压缩式冷水机组的选型应符合现行国家标准《工
-
8.1.9 燃油燃气锅炉应选用带比例调节燃烧器的全自动锅炉
-
8.1.10 锅炉房排放的大气污染物应符合现行国家标准《大
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-
8.2 大宗气体供应
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8.2.1 大宗气体输送系统设计应符合下列规定:
-
8.2.2 高纯大宗气体供应系统工艺设计应符合现行国家标准
-
8.2.3 大宗气体纯化间或气体入口室内设有氢气等可燃气体
-
8.2.4 大宗气体管道和阀门应根据产品生产工艺要求选择,
-
8.2.5 大宗气体管道连接应符合下列规定: 1
-
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8.3 特种气体供应
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8.3.1 特种气体供应应采用外购钢瓶气体、液态气体,在工
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8.3.2 特种气体供应储存分配系统设备应根据特种气体的性
-
8.3.3 布置在独立的建(构)筑物内或区域的特种气体设备
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8.3.4 布置在生产厂房内的自燃、可燃特种气体设备分配间
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8.3.5 新建工厂的大宗硅烷站应布置在独立建筑物或构筑物
-
8.3.6 特种气体系统的气瓶柜、气瓶架的设置应符合现行国
-
8.3.7 可燃特种气体的气瓶柜应符合下列规定:
-
8.3.8 特种气体系统吹扫氮气的设置应符合下列规定:
-
8.3.9 特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定:
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8.3.10 生产厂房内的可燃和毒性特种气体管道应明敷,穿
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8.3.11 特种气体和吹扫气体的管道和管件应采用奥氏体超
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8.3.12 可燃、氧化性特种气体管道应设置静电泄导的接地
-
8.3.13 室外布置的特种气体管道应架空布置。
-
8.3.14 具有自燃、剧毒性、强腐蚀性的特种气体宜采用双
-
-
8.4 压缩空气供应
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8.4.1 干燥压缩空气系统应满足生产工艺、供气量和供气品
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8.4.2 风冷式空气压缩机及风冷式干燥装置的设备布置应防
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8.4.3 当干燥压缩空气输送露点低于—76℃时,应采用内
-
8.4.4 压缩空气系统的管道设计应符合下列规定:
-
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8.5 工艺真空和清扫真空
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8.5.1 工艺真空系统的设计应符合下列规定: 1
-
8.5.2 工艺真空系统的管道设计应符合下列规定:
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8.5.3 洁净室(区)宜设置集中式真空吸尘系统,洁净室内
-
-
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9 供暖、通风、空气调节与净化
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9.1 一般规定
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9.1.1 洁净室(区)的空气洁净度等级以及洁净室形式应根
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9.1.2 洁净室(区)的气流组织应根据洁净度等级以及生产
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9.1.3 净化空调系统分开设置的原则除应符合现行国家标准
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9.1.4 洁净室内的新风量应取下列两项中的最大值:
-
9.1.5 洁净室与周围的空间应保持一定的静压差,静压差应
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9.1.6 布置在阵列、彩膜、成盒厂房核心生产区的风管、水
-
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9.2 采暖、通风与废气处理
-
9.2.1 严寒及寒冷地区各动力站房及管廊应根据技术要求设
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9.2.2 洁净室(区)内不应采用散热器采暖。
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9.2.3 洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备和辅助设备
-
9.2.4 排风系统的设计应符合下列规定: 1 等
-
9.2.5 废气处理系统的设计应符合下列规定: 1
-
9.2.6 酸、碱、有机、有毒废气经处理后应经排气筒排入大
-
9.2.7 酸、碱、有毒和有机排风系统宜在排气筒内设置在线
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9.2.8 一般排风系统的排风宜作为洁净室的回风使用。
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9.2.9 换鞋间应设置不低于10次/h的全室排风系统,排
-
-
9.3 空气调节与净化
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9.3.1 净化空气调节系统的新风应集中进行热、湿、净化处
-
9.3.2 阵列、彩膜、成盒厂房净化空气调节系统的循环风宜
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9.3.3 阵列、彩膜、成盒厂房的洁净室宽度超过80m时,
-
9.3.4 干冷却盘管的设置应符合下列规定: 1
-
9.3.5 风机过滤器机组的设置应符合下列规定:
-
9.3.6 当采用新风处理机组+风机过滤器机组+干冷却盘管
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9.3.7 空调冷、热源和水系统的设置应符合下列规定:
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9.3.8 洁净室的送风量应符合现行国家标准《洁净厂房设计
-
9.3.9 洁净室的噪声控制设计的噪声级(空态)应符合现行
-
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9.4 防 排 烟
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9.4.1 洁净厂房中防烟楼梯间、前室或合用前室宜设置自然
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9.4.2 洁净厂房中不具备自然排烟的疏散走道应设置机械排
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9.4.3 洁净厂房机械排烟系统的设置应符合现行国家标准《
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9.4.4 洁净室(区)的排烟系统应有防止室外气流倒灌的措
-
9.4.5 洁净室(区)内的排烟风管使用产尘的保温材料进行
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9.4.6 排烟系统的设置尚应符合现行国家标准《建筑设计防
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10 给水排水
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10.1 一般规定
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10.1.1 薄膜晶体管液晶显示器厂房洁净区的给水排水干管
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10.1.2 穿过洁净室的给水排水管道应符合现行国家标准《
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10.1.3 进、出建筑物的管道不宜直埋在结构地板内或地板
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10.2 一般给水排水
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10.2.1 厂房内的给水系统应根据工艺设备对水质、水温、
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10.2.2 在存储及使用化学品同时可能产生化学品泄漏的区
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10.2.3 给水管道的管材及附件的选择应符合现行国家标准
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10.2.4 排水、雨水系统应符合现行国家标准《电子工业洁
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10.2.5 下列区域应设置能够存储事故排水的设施:
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10.2.6 室外卸货区域存储事故排水设施的有效容积可按下
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10.3 纯 水
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10.3.1 纯水系统除应符合现行国家标准《电子工业洁净厂
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10.3.2 纯水制备用原水,宜选用符合条件的再生水。
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10.4 工艺冷却循环水
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10.4.1 工艺冷却循环水宜采用开式系统。
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10.4.2 工艺冷却循环水系统所采用电源的安全性应与所保
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10.4.3 工艺设备循环冷却水系统的管道及阀门配件应根据
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10.5 废 水
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10.5.1 生产废水排放系统根据工艺设备排出的废水性质、
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10.5.2 敷设于地下的废水收集及输送管路应符合下列规定
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10.5.3 生产废水处理系统应设置事故废水收集池。事故水
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10.5.4 生产废水排放系统的管材、阀门及配件等应按废水
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10.5.5 废水处理设施及末端排放宜设置在线监测仪表。
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10.6 消防给水及灭火设施
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10.6.1 厂房的消防设计应符合现行国家标准《建筑设计防
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10.6.2 厂房消火栓系统的设计应符合下列规定:
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10.6.3 厂房内设置的自动喷水灭火系统应符合下列规定:
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10.6.4 厂房内设置的气体灭火系统应符合现行国家标准《
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10.6.5 厂房内设置的灭火器应符合下列规定:
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10.6.6 化学品存储、分配、回收间的灭火系统应符合下列
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11 电 气
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11.1 供配电与照明
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11.1.1 工厂的用电负荷等级和供电要求应根据现行国家标
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11.1.2 主要工艺设备由专用变压器或专用低压馈电线路供
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11.1.3 工厂低压配电电压应符合工艺设备用电要求。带电
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11.1.4 消防用电设备的供配电设计应符合现行国家标准《
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11.1.5 洁净室内应选择不易积尘、便于擦拭的配电设备。
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11.1.6 生产厂房内的电气管线宜敷设在技术夹层或技术夹
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11.1.7 洁净室内照明光源宜采用高效荧光灯。若工艺有特
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11.1.8 洁净室内一般照明灯具的安装方式应便于灯管更换
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11.1.9 洁净室(区)的主要生产用房一般照明的照度值应
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11.1.10 洁净室(区)灯具的布置应根据工艺设备的位置
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11.1.11 洁净室(区)内应设置备用照明。备用照明宜作
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11.1.12 生产厂房内应设置供人员疏散用的应急照明。在
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11.1.13 洁净室(区)照明设计应按工艺生产要求在相关
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11.2 防雷与接地
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11.2.1 生产厂房的防雷系统设计应符合现行国家标准《建
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11.2.2 工艺设备的功能接地电阻值不应大于1Ω,有特殊
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11.2.3 功能性接地、保护性接地、电磁兼容性接地、建筑
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11.2.4 选择分散接地方式时,各种功能接地系统的接地体
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11.3 火灾报警及消防联动
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11.3.1 根据生产工艺布置和公用动力系统的装设情况,火
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11.3.2 洁净生产区及其走道、技术夹层应设置手动火灾报
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11.3.3 气体报警装置的设置应符合下列规定:
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11.3.4 工厂应设置消防值班室/控制室,消防控制室应设
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11.3.5 消防控制系统的控制、显示、报警功能应符合现行
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11.3.6 安防系统对洁净室(区)火灾报警应进行核实,并
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11.3.7 安防系统应对洁净室(区)气体报警进行核实,并
-
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11.4 通信及自控
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11.4.1 厂房内的通信设施应符合下列规定: 1
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11.4.2 厂房内应设置净化空调系统、高纯物质供应系统、
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11.4.3 洁净室(区)的静压差控制,宜设压差变送器控制
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11.4.4 净化空调系统电加热器,应设置无风、超温断电保
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12 防 静 电
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12.1 一般规定
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12.1.1 薄膜晶体管液晶显示器厂房应根据生产工艺要求设
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12.1.2 防静电工作区设计应按薄膜晶体管液晶显示器生产
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12.1.3 防静电工作区设计标准应分为三级。防静电工作区
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12.1.4 薄膜晶体管液晶显示器厂房防静电工作区的设计除
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12.2 防静电措施
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12.2.1 薄膜晶体管液晶显示器厂房防静电工作区中,防静
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12.2.2 当防静电工作区含有吊顶和墙、柱面时,其装饰应
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12.2.3 厂房防静电工作区的门窗设计应符合下列规定:
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12.2.4 厂房防静电工作区的其他装修设计应符合下列规定
-
12.2.5 防静电工作区的空气调节系统送风口和风管宜选用
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12.2.6 防静电工作区的空气调节系统、各种配管使用部分
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12.2.7 防静电工作区的送风口和各种管道的输送装置与配
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12.3 防静电接地
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12.3.1 防静电工作区顶棚、墙面、地面的防静电接地、操
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12.3.2 防静电工作区内应设置防静电接地端子板、接地网
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12.3.3 防静电接地系统在接入大地前应设置总等电位接地
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12.3.4 易燃、易爆环境以及各种液体或气体管道采取的防
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13 化 学 品
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13.1 一般规定
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13.1.1 厂房内化学品的储存、配送方式应根据生产工艺所
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13.1.2 厂房内使用的各类化学品应按各自的物理化学特性
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13.1.3 在洁净室(区)内使用危险化学品的工艺设备、化
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13.2 化学品储存和配送
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13.2.1 物化性质不允许储存在同一区域或房间的化学品储
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13.2.2 化学品原料库房、厂房内的化学品储存间(区)、
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13.2.3 外购独立包装的成品化学品应存放在独立化学品原
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13.2.4 厂房内化学品储存间(区)、配送间的设置应符合
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13.2.5 液态危险化学品的储存间、配送间应设置溢出保护
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13.2.6 储存间和配送间应设置紧急淋浴和洗眼器,并应设
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13.2.7 洁净厂房内采用手动推车运送化学品时,应符合下
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13.2.8 当设置集中化学品配送间通过管道输送化学品时,
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13.3 管材、阀门
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13.3.1 化学品供应系统管道材质选用应按所输送的化学品
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13.3.2 对多台工艺设备供应同一种化学品时,化学品输送
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13.3.3 输送非腐蚀性有机溶剂的管道材质宜采用低碳不锈
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13.3.4 阀门和附件的材质应与管道材质一致。
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13.4 化学品废液收集回收
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13.4.1 化学品废液系统的设置应符合下列规定:
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13.4.2 化学品废液收集后的处理方式应依据化学品废液量
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13.4.3 室外槽车停放区域和桶装化学品区域应设置废液收
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14 空间管理
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14.1 一般规定
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14.1.1 空间管理设计应符合下列规定: 1 工
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14.1.2 洁净生产层净高应按工艺设备和物料运输设备尺寸
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14.1.3 下技术夹层净高应按照工艺辅助设备尺寸及其搬入
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14.1.4 上技术夹层净高应按照空调设备、管线布置、洁净
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14.2 管线布置
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14.2.1 管线布置应符合下列规定: 1 管线布
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14.2.2 管线间及管线与建筑物、构筑物之间的最小净距除
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14.2.3 特种气体管线、化学品供应管线宜成排布置,且宜
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14.2.4 落地安装的管线应满足阀门和管件等的安装要求,
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14.2.5 有微振动控制要求区域内的管线应按照微振动控制
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14.2.6 技术夹层内的管线布置应符合下列规定:
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14.2.7 洁净生产区内不宜布置干管、支干管管线,布置在
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14.3 共用管道支、吊架
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14.3.1 管线并排布置时宜设置共用管道支、吊架。
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14.3.2 共用管道支、吊架的设置不应影响设备和管道的运
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14.3.3 共用管道支、吊架的设置及间距应根据并排的所有
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14.3.4 共用管道支、吊架宜选用标准产品。
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14.3.5 共用管道支、吊架宜固定在结构的梁、柱上。
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附录A 薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程
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A.0.1 薄膜晶体管液晶显示器面板生产工艺流程(图A.0
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A.0.2 薄膜晶体管液晶显示器模组工序(图A.0.2)应
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附录B 微振动标准VC曲线
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B.0.1 微振动控制曲线可按通用振动标准曲线(图B.0.
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B.0.2 微振动控制标准数值可按表B.0.2的规定进行设
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