1 总 则

• 1.0.1 为在薄膜晶体管液晶显示器工厂设计中贯彻执行国家

• 1.0.2 本规范适用于新建、改建、扩建薄膜晶体管液晶显示

• 1.0.3 薄膜晶体管液晶显示器工厂设计除应符合本规范外，

2 术 语

• 2.0.1 薄膜晶体管液晶显示器 thin film tr

• 2.0.2 全自动物料搬送系统 automated mat

• 2.0.3 玻璃基板 glass substrate   

• 2.0.4 阵列 array     在玻璃基板上通过成膜

• 2.0.5 彩膜 color filter(CF)    

• 2.0.6 成盒 cell     将已制备好的薄膜晶体管

• 2.0.7 空间管理 space management  

• 2.0.8 干法刻蚀 dry etching proces

• 2.0.9 等离子体增强化学气相沉积 plasma enh

3 基本规定

• 3.0.1 薄膜晶体管液晶显示器工厂设计应合理利用资源，保

• 3.0.2 薄膜晶体管液晶显示器工厂设计应符合下列规定：

• 3.0.3 薄膜晶体管液晶显示器生产线的设计能力应符合经济

4 工 艺

• 4.1 一般规定

  • 4.1.1 工艺设计应符合下列规定：     1 应确保生

  • 4.1.2 工艺设计中所确定的生产空间及其布置、生产环境参

  • 4.1.3 与生产工艺直接相关的生产部门宜采用连续运转的生

• 4.2 基本工序

  • 4.2.1 生产加工工序可按本规范附录A所列各段工序内容和

  • 4.2.2 生产的主要工序应完整、配套，阵列、彩膜和成盒工

  • 4.2.3 工厂中应设置与主生产工艺有关的辅助生产和有关技

• 4.3 工艺区划

  • 4.3.1 阵列、彩膜和成盒工艺段核心生产区域的工艺区划应

  • 4.3.2 生产区设置参观设施时，参观区域及其通道的环境应

  • 4.3.3 工厂中应设有原、辅材料和废料仓储设施，库房设置

  • 4.3.4 核心生产区域设有技术夹层时，应在技术夹层设置设

• 4.4 设备配置

  • 4.4.1 生产设备和辅助设备的选择应符合现行国家标准《电

  • 4.4.2 阵列、彩膜和成盒工序应采用玻璃基板卡匣或其他专

  • 4.4.3 化学气相沉积和物理气相沉积设备安装区域应配置洁

5 厂址选择及总体规划

• 5.1 厂址选择

  • 5.1.1 厂址选择应符合工业布局和地区建设规划的要求，应

  • 5.1.2 厂址选择应符合下列规定：     1 应避免生

  • 5.1.3 厂址应具有满足生产生活及发展规划所必需的水源、

  • 5.1.4 厂址选择应满足企业远期发展规划的需要。

  • 5.1.5 工程地质、水文复杂的地带和抗震设防烈度高于8度

  • 5.1.6 薄膜晶体管液晶显示器工厂应按现行国家标准《防洪

• 5.2 总体规划

  • 5.2.1 工厂的总体规划应符合所在地区的规划要求，并应有

  • 5.2.2 工厂的总平面布置应符合下列规定：     1

  • 5.2.3 改建、扩建的薄膜晶体管液晶显示器工厂总平面设计

  • 5.2.4 对于有微振控制要求的厂房，应实际测量周围现有振

  • 5.2.5 储存易燃、易爆、有毒物品的库房、储罐、堆场宜布

  • 5.2.6 储存易燃、易爆、有毒物品的库房、储罐、堆场与建

  • 5.2.7 厂区的竖向设计宜充分利用原有地形，减少土石方。

  • 5.2.8 厂区给水、排水、循环水及电缆等管线宜选用地下敷

6 建 筑

• 6.1 一般规定

  • 6.1.1 厂房的建筑平面和空间布局应适应产品生产发展的灵

  • 6.1.2 薄膜晶体管液晶显示器工厂生产厂房、办公楼、动力

  • 6.1.3 厂房洁净生产区内不宜设置变形缝。

  • 6.1.4 生产厂房围护结构材料的选择应满足生产对环境的气

  • 6.1.5 厂房围护结构传热系数限值应符合现行国家标准《电

  • 6.1.6 厂房应根据工艺及动力设备需要设置设备搬入口及设

  • 6.1.7 厂房内应设置工艺设备、动力设备的搬入及运输安装

  • 6.1.8 洁净区内位于搬运通道的高架地板应满足设备搬运荷

  • 6.1.9 厂房室内装修应符合现行国家标准《建筑内部装修设

• 6.2 防火及安全疏散

  • 6.2.1 薄膜晶体管液晶显示器工厂厂房的耐火等级不应低于

  • 6.2.2 厂房各工作间生产的火灾危险性分类应符合现行国家

  • 6.2.3 厂房内防火分区的划分应符合现行国家标准《建筑设

  • 6.2.4 厂房安全出口的设置应符合下列规定：     1

  • 6.2.5 当洁净厂房的洁净区各层靠外墙布置时，应设可供消

  • 6.2.6 穿过不同生产楼层的自动化垂直搬运系统除物料进、

  • 6.2.7 易燃、易爆化学品及气体的配送间应靠外墙布置，房

  • 6.2.8 易燃、易爆化学品储存间、配送间应采用不发生火花

7 结 构

• 7.1 一般规定

  • 7.1.1 阵列、彩膜、成盒厂房的建筑工程抗震设防类别宜采

  • 7.1.2 阵列、彩膜、成盒厂房工艺楼层梁的间距或无梁楼盖

  • 7.1.3 阵列、彩膜、成盒厂房结构设计应满足工艺设备的微

  • 7.1.4 厂房上部结构与基础之间不应设置橡胶隔震支座。

• 7.2 厂房结构设计

  • 7.2.1 厂房的结构宜采用钢筋混凝土结构或钢-混凝土混合

  • 7.2.2 生产厂房核心区结构与周边的支持区、办公区结构之

  • 7.2.3 核心区的楼层结构与支承屋面的主体结构间不宜设置

  • 7.2.4 厂房的屋盖系统根据其开间和跨度大小可采用下列结

  • 7.2.5 生产厂房核心区不应设置伸缩缝时，应采取措施减少

  • 7.2.6 当工艺生产采用叠层布置时，框架结构宜设置柱间支

  • 7.2.7 楼层使用荷载标准值应根据设备的布置、重量和基座

  • 7.2.8 楼板及屋盖的吊挂荷载应根据吊挂层的做法、管道及

  • 7.2.9 厂房结构整体抗震计算中，建筑的重力荷载代表值宜

  • 7.2.10 厂房结构计算应根据设备的实际布置范围、运输安

  • 7.2.11 生产厂房结构整体计算时，应采用楼层框架梁的实

  • 7.2.12 生产厂房核心区楼层的钢筋混凝土梁不宜采用预应

  • 7.2.13 核心区的厂房结构采用钢筋混凝土结构时，钢筋混

  • 7.2.14 工艺生产楼层的钢筋混凝土梁或钢梁梁顶的平整度

  • 7.2.15 厂房内的参观走道宜采用钢结构。

  • 7.2.16 设备的基础不应跨越伸缩缝。

• 7.3 微振动控制标准

  • 7.3.1 有微振控制要求的工艺设备应由制造厂商提供设备台

  • 7.3.2 有微振控制要求的工艺设备的支承面振动值应在相应

  • 7.3.3 曝光机、涂布机等工艺设备应满足生产厂商对设备支

• 7.4 微振动控制设计及测试

  • 7.4.1 微振动控制设计应包括下列因素：     1 厂

  • 7.4.2 同一个工艺生产楼层中，垂直方向可按不同设备的微

  • 7.4.3 核心区楼层结构应采用小柱距的布置方案，VC-C

  • 7.4.4 首层地板应采用钢筋混凝土结构，厚度不宜小于40

  • 7.4.5 微振动控制在工程建设中应按下列步骤进行微振动测

• 7.5 基座平台设计

  • 7.5.1 有微振控制要求的设备基座平台应根据工艺楼层的微

  • 7.5.2 基座平台的钢筋混凝土部分厚度不宜小于200mm。

  • 7.5.3 基座平台的结构部分与周边的架空地板及其支承钢梁

  • 7.5.4 基座平台的基本频率应避开其下支承结构的基本频率。

8 气体动力

• 8.1 冷、热 源

  • 8.1.1 工厂人工冷、热源宜采用集中设置的冷(热)水机组

  • 8.1.2 在同时需要供冷和供热的工况下，冷水机组宜根据负

  • 8.1.3 冷、热源设备台数和单台容量应根据全年冷、热负荷

  • 8.1.4 过渡季节或冬季需用一定量的供冷负荷时，宜利用冷

  • 8.1.5 冷水机组的冷冻水供、回水温差宜为7℃，在满足工

  • 8.1.6 当冷负荷变化较大时，冷源系统的部分或全部设备宜

  • 8.1.7 冷水机组的能效比不应低于现行国家标准《冷水机组

  • 8.1.8 电动压缩式冷水机组的选型应符合现行国家标准《工

  • 8.1.9 燃油燃气锅炉应选用带比例调节燃烧器的全自动锅炉

  • 8.1.10 锅炉房排放的大气污染物应符合现行国家标准《大

• 8.2 大宗气体供应

  • 8.2.1 大宗气体输送系统设计应符合下列规定：     

  • 8.2.2 高纯大宗气体供应系统工艺设计应符合现行国家标准

  • 8.2.3 大宗气体纯化间或气体入口室内设有氢气等可燃气体

  • 8.2.4 大宗气体管道和阀门应根据产品生产工艺要求选择，

  • 8.2.5 大宗气体管道连接应符合下列规定：     1

• 8.3 特种气体供应

  • 8.3.1 特种气体供应应采用外购钢瓶气体、液态气体，在工

  • 8.3.2 特种气体供应储存分配系统设备应根据特种气体的性

  • 8.3.3 布置在独立的建(构)筑物内或区域的特种气体设备

  • 8.3.4 布置在生产厂房内的自燃、可燃特种气体设备分配间

  • 8.3.5 新建工厂的大宗硅烷站应布置在独立建筑物或构筑物

  • 8.3.6 特种气体系统的气瓶柜、气瓶架的设置应符合现行国

  • 8.3.7 可燃特种气体的气瓶柜应符合下列规定：     

  • 8.3.8 特种气体系统吹扫氮气的设置应符合下列规定：  

  • 8.3.9 特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定：

  • 8.3.10 生产厂房内的可燃和毒性特种气体管道应明敷，穿

  • 8.3.11 特种气体和吹扫气体的管道和管件应采用奥氏体超

  • 8.3.12 可燃、氧化性特种气体管道应设置静电泄导的接地

  • 8.3.13 室外布置的特种气体管道应架空布置。

  • 8.3.14 具有自燃、剧毒性、强腐蚀性的特种气体宜采用双

• 8.4 压缩空气供应

  • 8.4.1 干燥压缩空气系统应满足生产工艺、供气量和供气品

  • 8.4.2 风冷式空气压缩机及风冷式干燥装置的设备布置应防

  • 8.4.3 当干燥压缩空气输送露点低于—76℃时，应采用内

  • 8.4.4 压缩空气系统的管道设计应符合下列规定：    

• 8.5 工艺真空和清扫真空

  • 8.5.1 工艺真空系统的设计应符合下列规定：     1

  • 8.5.2 工艺真空系统的管道设计应符合下列规定：    

  • 8.5.3 洁净室(区)宜设置集中式真空吸尘系统，洁净室内

9 供暖、通风、空气调节与净化

• 9.1 一般规定

  • 9.1.1 洁净室(区)的空气洁净度等级以及洁净室形式应根

  • 9.1.2 洁净室(区)的气流组织应根据洁净度等级以及生产

  • 9.1.3 净化空调系统分开设置的原则除应符合现行国家标准

  • 9.1.4 洁净室内的新风量应取下列两项中的最大值：   

  • 9.1.5 洁净室与周围的空间应保持一定的静压差，静压差应

  • 9.1.6 布置在阵列、彩膜、成盒厂房核心生产区的风管、水

• 9.2 采暖、通风与废气处理

  • 9.2.1 严寒及寒冷地区各动力站房及管廊应根据技术要求设

  • 9.2.2 洁净室(区)内不应采用散热器采暖。

  • 9.2.3 洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备和辅助设备

  • 9.2.4 排风系统的设计应符合下列规定：     1 等

  • 9.2.5 废气处理系统的设计应符合下列规定：     1

  • 9.2.6 酸、碱、有机、有毒废气经处理后应经排气筒排入大

  • 9.2.7 酸、碱、有毒和有机排风系统宜在排气筒内设置在线

  • 9.2.8 一般排风系统的排风宜作为洁净室的回风使用。

  • 9.2.9 换鞋间应设置不低于10次／h的全室排风系统，排

• 9.3 空气调节与净化

  • 9.3.1 净化空气调节系统的新风应集中进行热、湿、净化处

  • 9.3.2 阵列、彩膜、成盒厂房净化空气调节系统的循环风宜

  • 9.3.3 阵列、彩膜、成盒厂房的洁净室宽度超过80m时，

  • 9.3.4 干冷却盘管的设置应符合下列规定：     1

  • 9.3.5 风机过滤器机组的设置应符合下列规定：     

  • 9.3.6 当采用新风处理机组＋风机过滤器机组＋干冷却盘管

  • 9.3.7 空调冷、热源和水系统的设置应符合下列规定：  

  • 9.3.8 洁净室的送风量应符合现行国家标准《洁净厂房设计

  • 9.3.9 洁净室的噪声控制设计的噪声级(空态)应符合现行

• 9.4 防 排 烟

  • 9.4.1 洁净厂房中防烟楼梯间、前室或合用前室宜设置自然

  • 9.4.2 洁净厂房中不具备自然排烟的疏散走道应设置机械排

  • 9.4.3 洁净厂房机械排烟系统的设置应符合现行国家标准《

  • 9.4.4 洁净室(区)的排烟系统应有防止室外气流倒灌的措

  • 9.4.5 洁净室(区)内的排烟风管使用产尘的保温材料进行

  • 9.4.6 排烟系统的设置尚应符合现行国家标准《建筑设计防

10 给水排水

• 10.1 一般规定

  • 10.1.1 薄膜晶体管液晶显示器厂房洁净区的给水排水干管

  • 10.1.2 穿过洁净室的给水排水管道应符合现行国家标准《

  • 10.1.3 进、出建筑物的管道不宜直埋在结构地板内或地板

• 10.2 一般给水排水

  • 10.2.1 厂房内的给水系统应根据工艺设备对水质、水温、

  • 10.2.2 在存储及使用化学品同时可能产生化学品泄漏的区

  • 10.2.3 给水管道的管材及附件的选择应符合现行国家标准

  • 10.2.4 排水、雨水系统应符合现行国家标准《电子工业洁

  • 10.2.5 下列区域应设置能够存储事故排水的设施：   

  • 10.2.6 室外卸货区域存储事故排水设施的有效容积可按下

• 10.3 纯 水

  • 10.3.1 纯水系统除应符合现行国家标准《电子工业洁净厂

  • 10.3.2 纯水制备用原水，宜选用符合条件的再生水。

• 10.4 工艺冷却循环水

  • 10.4.1 工艺冷却循环水宜采用开式系统。

  • 10.4.2 工艺冷却循环水系统所采用电源的安全性应与所保

  • 10.4.3 工艺设备循环冷却水系统的管道及阀门配件应根据

• 10.5 废 水

  • 10.5.1 生产废水排放系统根据工艺设备排出的废水性质、

  • 10.5.2 敷设于地下的废水收集及输送管路应符合下列规定

  • 10.5.3 生产废水处理系统应设置事故废水收集池。事故水

  • 10.5.4 生产废水排放系统的管材、阀门及配件等应按废水

  • 10.5.5 废水处理设施及末端排放宜设置在线监测仪表。

• 10.6 消防给水及灭火设施

  • 10.6.1 厂房的消防设计应符合现行国家标准《建筑设计防

  • 10.6.2 厂房消火栓系统的设计应符合下列规定：    

  • 10.6.3 厂房内设置的自动喷水灭火系统应符合下列规定：

  • 10.6.4 厂房内设置的气体灭火系统应符合现行国家标准《

  • 10.6.5 厂房内设置的灭火器应符合下列规定：     

  • 10.6.6 化学品存储、分配、回收间的灭火系统应符合下列

11 电 气

• 11.1 供配电与照明

  • 11.1.1 工厂的用电负荷等级和供电要求应根据现行国家标

  • 11.1.2 主要工艺设备由专用变压器或专用低压馈电线路供

  • 11.1.3 工厂低压配电电压应符合工艺设备用电要求。带电

  • 11.1.4 消防用电设备的供配电设计应符合现行国家标准《

  • 11.1.5 洁净室内应选择不易积尘、便于擦拭的配电设备。

  • 11.1.6 生产厂房内的电气管线宜敷设在技术夹层或技术夹

  • 11.1.7 洁净室内照明光源宜采用高效荧光灯。若工艺有特

  • 11.1.8 洁净室内一般照明灯具的安装方式应便于灯管更换

  • 11.1.9 洁净室(区)的主要生产用房一般照明的照度值应

  • 11.1.10 洁净室(区)灯具的布置应根据工艺设备的位置

  • 11.1.11 洁净室(区)内应设置备用照明。备用照明宜作

  • 11.1.12 生产厂房内应设置供人员疏散用的应急照明。在

  • 11.1.13 洁净室(区)照明设计应按工艺生产要求在相关

• 11.2 防雷与接地

  • 11.2.1 生产厂房的防雷系统设计应符合现行国家标准《建

  • 11.2.2 工艺设备的功能接地电阻值不应大于1Ω，有特殊

  • 11.2.3 功能性接地、保护性接地、电磁兼容性接地、建筑

  • 11.2.4 选择分散接地方式时，各种功能接地系统的接地体

• 11.3 火灾报警及消防联动

  • 11.3.1 根据生产工艺布置和公用动力系统的装设情况，火

  • 11.3.2 洁净生产区及其走道、技术夹层应设置手动火灾报

  • 11.3.3 气体报警装置的设置应符合下列规定：     

  • 11.3.4 工厂应设置消防值班室／控制室，消防控制室应设

  • 11.3.5 消防控制系统的控制、显示、报警功能应符合现行

  • 11.3.6 安防系统对洁净室(区)火灾报警应进行核实，并

  • 11.3.7 安防系统应对洁净室(区)气体报警进行核实，并

• 11.4 通信及自控

  • 11.4.1 厂房内的通信设施应符合下列规定：     1

  • 11.4.2 厂房内应设置净化空调系统、高纯物质供应系统、

  • 11.4.3 洁净室(区)的静压差控制，宜设压差变送器控制

  • 11.4.4 净化空调系统电加热器，应设置无风、超温断电保

12 防 静 电

• 12.1 一般规定

  • 12.1.1 薄膜晶体管液晶显示器厂房应根据生产工艺要求设

  • 12.1.2 防静电工作区设计应按薄膜晶体管液晶显示器生产

  • 12.1.3 防静电工作区设计标准应分为三级。防静电工作区

  • 12.1.4 薄膜晶体管液晶显示器厂房防静电工作区的设计除

• 12.2 防静电措施

  • 12.2.1 薄膜晶体管液晶显示器厂房防静电工作区中，防静

  • 12.2.2 当防静电工作区含有吊顶和墙、柱面时，其装饰应

  • 12.2.3 厂房防静电工作区的门窗设计应符合下列规定：

  • 12.2.4 厂房防静电工作区的其他装修设计应符合下列规定

  • 12.2.5 防静电工作区的空气调节系统送风口和风管宜选用

  • 12.2.6 防静电工作区的空气调节系统、各种配管使用部分

  • 12.2.7 防静电工作区的送风口和各种管道的输送装置与配

• 12.3 防静电接地

  • 12.3.1 防静电工作区顶棚、墙面、地面的防静电接地、操

  • 12.3.2 防静电工作区内应设置防静电接地端子板、接地网

  • 12.3.3 防静电接地系统在接入大地前应设置总等电位接地

  • 12.3.4 易燃、易爆环境以及各种液体或气体管道采取的防

13 化 学 品

• 13.1 一般规定

  • 13.1.1 厂房内化学品的储存、配送方式应根据生产工艺所

  • 13.1.2 厂房内使用的各类化学品应按各自的物理化学特性

  • 13.1.3 在洁净室(区)内使用危险化学品的工艺设备、化

• 13.2 化学品储存和配送

  • 13.2.1 物化性质不允许储存在同一区域或房间的化学品储

  • 13.2.2 化学品原料库房、厂房内的化学品储存间(区)、

  • 13.2.3 外购独立包装的成品化学品应存放在独立化学品原

  • 13.2.4 厂房内化学品储存间(区)、配送间的设置应符合

  • 13.2.5 液态危险化学品的储存间、配送间应设置溢出保护

  • 13.2.6 储存间和配送间应设置紧急淋浴和洗眼器，并应设

  • 13.2.7 洁净厂房内采用手动推车运送化学品时，应符合下

  • 13.2.8 当设置集中化学品配送间通过管道输送化学品时，

• 13.3 管材、阀门

  • 13.3.1 化学品供应系统管道材质选用应按所输送的化学品

  • 13.3.2 对多台工艺设备供应同一种化学品时，化学品输送

  • 13.3.3 输送非腐蚀性有机溶剂的管道材质宜采用低碳不锈

  • 13.3.4 阀门和附件的材质应与管道材质一致。

• 13.4 化学品废液收集回收

  • 13.4.1 化学品废液系统的设置应符合下列规定：    

  • 13.4.2 化学品废液收集后的处理方式应依据化学品废液量

  • 13.4.3 室外槽车停放区域和桶装化学品区域应设置废液收

14 空间管理

• 14.1 一般规定

  • 14.1.1 空间管理设计应符合下列规定：     1 工

  • 14.1.2 洁净生产层净高应按工艺设备和物料运输设备尺寸

  • 14.1.3 下技术夹层净高应按照工艺辅助设备尺寸及其搬入

  • 14.1.4 上技术夹层净高应按照空调设备、管线布置、洁净

• 14.2 管线布置

  • 14.2.1 管线布置应符合下列规定：     1 管线布

  • 14.2.2 管线间及管线与建筑物、构筑物之间的最小净距除

  • 14.2.3 特种气体管线、化学品供应管线宜成排布置，且宜

  • 14.2.4 落地安装的管线应满足阀门和管件等的安装要求，

  • 14.2.5 有微振动控制要求区域内的管线应按照微振动控制

  • 14.2.6 技术夹层内的管线布置应符合下列规定：    

  • 14.2.7 洁净生产区内不宜布置干管、支干管管线，布置在

• 14.3 共用管道支、吊架

  • 14.3.1 管线并排布置时宜设置共用管道支、吊架。

  • 14.3.2 共用管道支、吊架的设置不应影响设备和管道的运

  • 14.3.3 共用管道支、吊架的设置及间距应根据并排的所有

  • 14.3.4 共用管道支、吊架宜选用标准产品。

  • 14.3.5 共用管道支、吊架宜固定在结构的梁、柱上。

附录A 薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程

• A.0.1 薄膜晶体管液晶显示器面板生产工艺流程(图A.0

• A.0.2 薄膜晶体管液晶显示器模组工序(图A.0.2)应

附录B 微振动标准VC曲线

• B.0.1 微振动控制曲线可按通用振动标准曲线(图B.0.

• B.0.2 微振动控制标准数值可按表B.0.2的规定进行设