• 1 总 则

    • 1.0.1 为规范电子工业防微振工程的勘察、设计及施工质量

    • 1.0.2 本规范适用于新建、改建的电子工业厂房、测试站(

    • 1.0.3 防微振工程设计、施工及质量验收,除应符合本规范

  • 2 术 语

    • 2.0.1 微振动 micro-vibration    

    • 2.0.2 容许振动值 allowable value o

    • 2.0.3 建筑结构防微振体系 structural mi

    • 2.0.4 主动隔振 active vibration i

    • 2.0.5 被动隔振 passive vibration

    • 2.0.6 主动控制隔振装置 active vibrati

    • 2.0.7 隔振器 vibration isolator

    • 2.0.8 隔振装置 vibration isolatio

    • 2.0.9 隔振系统 vibration isolatio

    • 2.0.10 振动响应 vibration respons

    • 2.0.11 环境振动 environment vibra

    • 2.0.12 常时微动 usual environment

    • 2.0.13 防微振墙 microvibration is

    • 2.0.14 华夫板 waffle slab     垂直

    • 2.0.15 防微振设计 anti-microvibrat

    • 2.0.16 防微振基台 anti-microvibrat

  • 3 基本规定

    • 3.0.1 本规范所定义的微振动应为幅值不大于表3.0.1

    • 3.0.2 防微振工程的勘察、设计、施工及安装宜遵循下列程

    • 3.0.3 区域规划及厂区规划设计时振源位置应合理布置,振

    • 3.0.4 建筑物内的振源与精密设备及仪器应分类集中、分区

    • 3.0.5 防微振工程设计应包括下列内容:     1 建

    • 3.0.6 防微振工程的设计与施工质量必须满足精密设备及仪

  • 4 精密设备及仪器容许振动标准

    • 4.1 一般规定

      • 4.1.1 精密设备及仪器容许振动值的确定应符合下列规定之

      • 4.1.2 精密设备及仪器容许振动值的确定宜结合振动环境变

    • 4.2 精密设备及仪器容许振动值

      • 4.2.1 电子工业用精密设备及仪器、纳米实验室及物理实验

      • 4.2.2 实验室用精密设备及仪器在时域范围内竖直向和水平

      • 4.2.3 消声室和半消声室在频域范围内竖直向和水平向容许

      • 4.2.4 消声水池在频域范围内的竖直向和水平向的容许振动

  • 5 规划设计

    • 5.1 一般规定

      • 5.1.1 电子工业区域规划布局和厂区布置,不得选择在强振

      • 5.1.2 厂区选择宜符合下列规定:     1 宜选择在

      • 5.1.3 厂区位置选择时,应根据场地环境微振动测试和自然

    • 5.2 防振距离

      • 5.2.1 对各类振源在不同土体内的防振距离,可按下式计算

      • 5.2.2 当本规范表5.2.1-1中振源采取隔振时,隔振

      • 5.2.3 结合规划区、厂区内外的不同振源,对有防微振动要

    • 5.3 厂区布置

      • 5.3.1 厂区内有振动影响的站房布置应符合下列要求:  

      • 5.3.2 厂区内外的道路设置应符合下列要求:     1

      • 5.3.3 厂区内有防微振要求的建筑物周围绿化宜种植常青灌

  • 6 建筑结构防微振设计

    • 6.1 一般规定

      • 6.1.1 建筑结构防微振设计应采取下列综合措施:    

      • 6.1.2 建筑结构防微振设计应具备下列资料:     1

      • 6.1.3 建筑结构防微振设计宜具备下列资料:     1

      • 6.1.4 建筑物内设备布置应符合下列规定:     1

      • 6.1.5 多层厂房内不宜设置起重设备。设置起重设备时,宜

      • 6.1.6 建筑物内的动力设备及产生振动的管道进入防微振区

      • 6.1.7 建筑物内应采用低速送风,空气密度变化率宜控制在

      • 6.1.8 防微振区域内的门应采用柔性缓冲装置。

    • 6.2 防微振措施

      • 6.2.1 建筑物地基基础的防微振设计应符合下列要求:  

      • 6.2.2 地面结构或底板结构的防微振设计应符合下列要求:

      • 6.2.3 主体结构的防微振设计应符合下列要求:     

      • 6.2.4 精密设备及仪器的独立基础设计应符合下列要求:

    • 6.3 微振动验算

      • 6.3.1 微振动验算应符合下列规定:     1 有防微

      • 6.3.2 受环境振动影响的微振动应符合下列公式要求:  

      • 6.3.3 动力设备及工艺设备产生影响的微振动验算应符合下

      • 6.3.4 防微振工程各阶段振动验算的实测及评估应符合下列

  • 7 隔振设计

    • 7.1 一般规定

      • 7.1.1 动力设备应选用振动影响小的产品,旋转型设备应选

      • 7.1.2 动力设备对精密设备及仪器有振动影响时,应采取隔

      • 7.1.3 当建筑结构采取防微振措施及动力设备采取隔振措施

      • 7.1.4 隔振设计除应遵守本规范外,尚应符合现行国家标准

      • 7.1.5 选用隔振器应具备下列资料:     1 外形尺

      • 7.1.6 选用空气弹簧隔振装置时,除应符合本规范第7.1

      • 7.1.7 隔振系统不得与外围结构刚性连接。

    • 7.2 主动隔振

      • 7.2.1 动力设备隔振宜采用支承式(图7.2.1)。 图

      • 7.2.2 动力设备隔振应符合下列要求:     1 安装

      • 7.2.3 管道隔振宜符合下列要求:     1 水平向管

      • 7.2.4 隔振器选用宜符合下列要求:     1 室内动

      • 7.2.5 带隔振器的动力设备应提供隔振性能检测报告。

      • 7.2.6 当动力设备采用一级隔振方案不能满足要求时,可采

      • 7.2.7 动力设备隔振传递率不宜大于0.1。

    • 7.3 被动隔振

      • 7.3.1 精密设备及仪器隔振设计应根据其容许振动值、工作

      • 7.3.2 精密设备及仪器的隔振型式宜符合下列规定:   

      • 7.3.3 对于运行中重量及重心位置发生变化的精密设备及仪

      • 7.3.4 隔振计算应包括下列内容:     1 隔振系统

      • 7.3.5 大型或超大型隔振系统的计算宜包括台板的弹性变形

      • 7.3.6 振动计算不应包括精密设备及仪器自带隔振器的隔振

      • 7.3.7 当采用被动隔振措施仍不能满足使用要求时,应采用

      • 7.3.8 隔振系统各向阻尼比不宜小于0.08。

  • 8 防微振工程施工质量验收

    • 8.1 一般规定

      • 8.1.1 防微振工程的质量验收应由建设单位负责组织施工、

      • 8.1.2 防微振工程施工应按被批准的设计文件实施。当修改

      • 8.1.3 防微振工程施工过程中涉及的专业工种及防微振设备

      • 8.1.4 防微振工程施工过程中使用的各类工器具,应检定合

      • 8.1.5 主要设备、材料、成品和半成品进场应检验,除应符

      • 8.1.6 防微振工程的施工质量验收除应符合本规范外,尚应

      • 8.1.7 防微振基台隔振工程和动力设备及管道隔振工程所用

    • 8.2 防微振工程地基处理施工质量验收

      • 8.2.1 防微振工程地基处理的施工质量检验标准应符合表8

      • 8.2.2 防微振工程地基处理所采用的方法除应符合本规范外

    • 8.3 块体式混凝土防微振基础施工质量验收

      • 8.3.1 基础施工质量验收应包括动力设备混凝土基础和精密

      • 8.3.2 块体式混凝土防微振基础的施工质量检验标准应符合

    • 8.4 防微振工程结构施工质量验收

      • 8.4.1 防微振工程中的结构工程施工质量验收应包括有微振

      • 8.4.2 防微振工程结构的施工质量检验标准应符合表8.4

    • 8.5 精密设备及仪器隔振工程施工质量验收

      • 8.5.1 隔振工程施工质量验收应包括防微振基台、空气弹簧

      • 8.5.2 洁净厂房精密设备防微振基台的施工质量应符合下列

      • 8.5.3 防微振基台工程的施工质量检验标准应符合表8.5

      • 8.5.4 空气弹簧隔振装置的质量检验标准应符合表8.5.

      • 8.5.5 主动控制隔振装置的质量检验标准应符合表8.5.

    • 8.6 动力设备及管道隔振工程施工质量验收

      • 8.6.1 动力设备隔振工程施工质量验收宜包括浮筑板、动力

      • 8.6.2 动力设备隔振工程的施工质量检验标准应符合表8.

      • 8.6.3 动力设备的管道隔振工程的施工质量检验标准应符合

    • 8.7 防微振工程施工质量验收

      • 8.7.1 防微振工程的施工质量验收应符合下列规定:   

      • 8.7.2 防微振工程位于洁净厂房内时,其验收尚应符合现行

      • 8.7.3 防微振工程施工质量验收除应提供相关规范要求的资

  • 附录A 微振动测试分析

    • A.1 一般规定

      • A.1.1 场地环境微振动测试应具备下列资料:     1

      • A.1.2 建筑物微振动测试应具备下列资料:     1

      • A.1.3 防微振基台微振动测试应具备下列资料:     

      • A.1.4 测试前,应对现场进行实地踏勘,制订测试方案。测

      • A.1.5 室外测试时,应对测试仪器采取保护措施。

      • A.1.6 测试过程中应采取措施避免强电磁及交流电源对测试

    • A.2 测试设备及仪器

      • A.2.1 测试系统宜包括振动传感器、滤波器、放大器、信号

      • A.2.2 传感器应根据测试需要,选用高灵敏度三向一体传感

      • A.2.3 传感器频响范围应根据测试要求选定,宜为0.5H

      • A.2.4 放大器宜采用具有抗混滤波功能的多通道放大器,各

      • A.2.5 数据采集应采用带有模/数转换的数据采集仪,其模

      • A.2.6 数据采集及分析软件应具有时域、频域多通道显示功

      • A.2.7 激振装置可采用电磁式或机械式。电磁式激振器推力

      • A.2.8 振动测试系统应在国家认定的计量单位进行校准,并

    • A.3 测试设备及仪器安装

      • A.3.1 传感器安装应符合下列要求:     1 每1测

      • A.3.2 电磁式激振器安装应符合下列要求:     1

      • A.3.3 机械式激振器应用螺栓与被测体进行连接。

      • A.3.4 仪器安装应采取接地措施。

    • A.4 振动数据采集

      • A.4.1 数据采集前,同型号传感器应进行试采样及比对分析。

      • A.4.2 采样频率应大于数据分析截止频率的2倍,每个样本

      • A.4.3 采样时间和次数应符合下列要求:     1 随

      • A.4.4 每次采样除规定的振源及振源组合外,其余振源应停

      • A.4.5 采用激振器激振时,应待激振频率及扰力幅值稳定时

    • A.5 场地环境振动测试

      • A.5.1 场地环境振动测试应根据工程规模、建筑场地面积、

      • A.5.2 环境振动工况分类及组合应包括常时微动、固定干扰

      • A.5.3 传感器周围15m范围内应避免人员行走影响。

      • A.5.4 测试应采取多测点同时采样,当传感器数量不足或不

      • A.5.5 当场地内外道路无车辆行驶时,可采用车辆模拟移动

    • A.6 建筑物振动测试

      • A.6.1 精密设备及仪器的独立基础动力特性测试应符合下列

      • A.6.2 建筑物动力特性测试应符合下列要求:     1

      • A.6.3 环境微振动测试应符合下列要求:     1 环

    • A.7 防微振基台振动测试

      • A.7.1 动力特性测试应符合下列要求:     1 测试

      • A.7.2 微振动测试应符合下列要求:     1 环境微

    • A.8 振动数据分析

      • A.8.1 振动数据的预处理应符合下列要求:     1

      • A.8.2 振动数据的时域分析应符合下列要求:     1

      • A.8.3 振动数据的频域分析应符合下列要求:     1

  • 附录B 多振源振动响应叠加计算

    • B.1 一般规定

      • B.1.1 多振源振动响应叠加可由测试确定,在无测试条件时

      • B.1.2 多振源振动传递衰减至距振源距离r处时,振动响应

    • B.2 多振源振动响应叠加计算

      • B.2.1 多个不同振源振动响应的叠加可按式(B.2.2-

      • B.2.2 多个稳态振源振动响应的叠加可按式(B.2.2-

      • B.2.3 多个稳态和多个瞬态振源振动响应的叠加可按下列公

      • B.2.4 火车、汽车、机床等随机振源的振动响应叠加按下式

      • B.2.5 瞬态振源应按其中振动响应最大的一个进行计算。

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1.0.1 为规范电子工业防微振工程的勘察、设计及施工质量验收,确保满足精密设备及仪器所容许的微振动环境要求,并做到技术先进、经济适用、运行可靠及节约能源,制定本规范